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主营产品:
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ULVAC爱发科
原装现货ULVAC爱发科L 型真空角阀
产品型号:VLP-SA080JH
产品简介:
ULVAC 爱发科是日本老牌真空精密测控设备制造企业,深耕真空腔体监测、工艺气体精密测控多年,凭借超高洁净、长时稳定、纳米级高精度、极低漂移的真空与气体测控设备为核心优势,配套自研全域真空精密校准检测实验室,服务高精密制造全产业链。
详细介绍
VLP-SA080JH属于ULVAC的VLP系列真空角阀,该系列阀门以其
不锈钢(SUS)材质
和
可烘烤至150℃
的特性而闻名
。它主要用于在高真空环境下,通过气动控制来开启或关闭气流通道
。
核心优势与特点
快速响应:气压驱动使阀门开关迅速,适用于需要快速切断或开启气流的自动化工艺。
双向控制:开关动作均可控,不像单动式依赖弹簧,在需要控制开关速度的场景下更有优势。
高可靠性:设计简洁,动作直接,保证了长期稳定的运行。例如,爱发科(ULVAC)的VLP系列双动式阀门保证操作循环次数高达10万次。
广泛的真空适应性:适用于从大气压到高真空的广泛范围。以爱发科VLP-SA系列为例,其工作压力范围为 大气压 ~ 1.0×10⁻⁵ Pa。
优异的密封性:可实现极低的泄漏率。例如,VLP-SA系列的内、外部泄漏率均可低至 ≤1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
工作原理
你可以将双动式气动真空角阀理解为一个由气动“开关”控制的通道。它的工作循环如下:
开启:向气缸的一侧通入压缩空气,气压推动活塞和阀杆,将阀板从阀座上提起,打开阀门通道。
关闭:向气缸的另一侧通入压缩空气,气压推动活塞反向运动,将阀板压紧在阀座上,实现密封关闭。
控制:通过电磁阀等控制元件切换压缩空气的流向,即可实现对阀门的远程自动化控制。由于是气压直接驱动,其响应速度可以达到毫秒级。
应用场景
双动式气动真空角阀凭借其精准控制和快速响应的特点,广泛应用于各类对自动化控制要求较高的真空系统中:
半导体与FPD(平板显示器) 制造设备
真空镀膜设备(如光学镀膜、卷绕镀膜等)
光伏(太阳能电池) 生产设备
各类需要远程或自动控制的科研实验真空系统