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全新ULVAC爱发科 双动式气动真空角阀
产品型号:VLP-SA020JH
产品简介:

ULVAC 爱发科是日本老牌真空精密测控设备制造企业,深耕真空腔体监测、工艺气体精密测控多年,凭借超高洁净、长时稳定、纳米级高精度、极低漂移的真空与气体测控设备为核心优势,配套自研全域真空精密校准检测实验室,服务高精密制造全产业链。

详细介绍

全新现货ULVAC爱发科 双动式气动真空角阀

全新现货ULVAC爱发科 双动式气动真空角阀

VLP-SA020JH DN20 气动复动真空角阀,JIS-VF 法兰,SUS304 本体、O 圈轴封,适用大气压至 1×10⁻⁵ Pa 高真空。双作用气缸驱动,本体*高 150℃烘烤,内外漏≤1E-10 Pa・m³/s。多用于光学镀膜、OLED 蒸镀、半导体真空腔体管路通断隔断。

型号释义

VLP-SA020JH
  • VLP:角阀,复动气缸驱动(双作用)

  • SA:SUS304 本体、阀杆 O 形圈密封(非波纹管)

  • 020:通径 DN20

  • JH:JIS-VF 标准法兰

核心特点

  • 材质与烘烤:主体采用不锈钢(SUS304) 材质,允许在关闭状态下对阀体进行*高150°C的烘烤,以去除腔体残留气体和水汽。

  • 法兰接口:提供4种标准法兰接口可选,包括JIS-VF、ISO-KF、ISO-K和ISO-CF,能适应不同的真空系统连接需求。

  • 驱动方式:有双动式 (Double-acting) 和单动式 (Single-acting) 两种气动驱动方式可选。双动式通过气压控制阀门的开启和关闭,响应更快。

  • 高可靠性:设计保证操作循环次数高达10万次。


应用场景

基于其不锈钢材质、高真空兼容性及可烘烤特性,该阀门适用于对清洁度和真空度有较高要求的场合,例如:

  • 半导体、FPD(平板显示器) 制造设备

  • 光伏(太阳能电池) 生产设备

  • 真空镀膜设备

  • 各类高真空及超高真空实验与研究系统


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