全新现货ULVAC爱发科 双动式气动真空角阀
VLP:角阀,复动气缸驱动(双作用)
SA:SUS304 本体、阀杆 O 形圈密封(非波纹管)
020:通径 DN20
JH:JIS-VF 标准法兰
材质与烘烤:主体采用不锈钢(SUS304) 材质,允许在关闭状态下对阀体进行*高150°C的烘烤,以去除腔体残留气体和水汽。
法兰接口:提供4种标准法兰接口可选,包括JIS-VF、ISO-KF、ISO-K和ISO-CF,能适应不同的真空系统连接需求。
驱动方式:有双动式 (Double-acting) 和单动式 (Single-acting) 两种气动驱动方式可选。双动式通过气压控制阀门的开启和关闭,响应更快。
高可靠性:设计保证操作循环次数高达10万次。
应用场景
基于其不锈钢材质、高真空兼容性及可烘烤特性,该阀门适用于对清洁度和真空度有较高要求的场合,例如:
半导体、FPD(平板显示器) 制造设备
光伏(太阳能电池) 生产设备
真空镀膜设备
各类高真空及超高真空实验与研究系统