日本现货SIGMAKOK西格玛压电电动光学镜架
MHX-101.6A-PDM 属于 MHX-A-PDM 压电电动系列，101.6 代表 4 英寸大口径、A 前装式、PDM 多层压电马达电控驱动，整体采用中空薄壁不锈钢一体成型，刚性强、热平衡速度快、温变小。搭载双路压电促动器，搭配专用 PDM-ID-02 控制器实现电脑程序远程闭环自动校正，无需人工手动调节，专为大尺寸光学元件自动化光路设计，可夹持 φ101.6mm 大口径宽带波片、分光镜、大尺寸偏振片、光学窗口、激光反射镜，适配半导体、真空镀膜、大视场偏振检测、大功率激光干涉等高精密自动化光学系统。
1.适配光学件
外径 φ101.6mm（4 英寸），镜片厚度 10～20mm，有效通光孔径 φ96mm，光轴高度 63.5mm
2.调节结构
两轴（俯仰 + 方位）前装式结构，压电马达电控驱动；镜片正面装卸，搭配防扭转限位销孔、粘接定位小孔
3.调节行程
俯仰 / 方位双向 ±2°，压电角分辨率低至 0.2μrad，重复定位精度优异，长期运行角度漂移极小
4.机身参数
SUS 不锈钢材质，整机自重 1.2kg；底部预留 M6、1/4-20 UNC 标准安装螺纹，适配大型光学面包板、支撑立柱
5.洁净环境适配
无喷涂、低挥发无油污析出，可无尘酒精擦拭，兼容百级 FFU 无尘车间、轻度真空腔体光路；标配 2 米专用控制线缆
6.配套控制器
需搭配原厂 PDM-ID-02 压电控制器，单台控制器驱动单只镜架，支持上位机软件联动自动化产线设备
应用场景
半导体与真空镀膜自动化产线 适配 4 英寸大尺寸晶圆、大面积镀膜基板在线光学检测，夹持大口径 POLAX-15N 超高消光偏振片、SB 超宽带波片，程序自动校准偏振角度，消除硅片、金属镀膜镜面高光，精准识别大面积薄膜分层、微米划痕、膜厚不均；搭配 ULVAC CRTM-R1 膜厚控制器、LUCEO LSM-9002LE 全自动应力仪完成镀膜前后全流程品质复检，可放置于蒸镀、溅射腔体内部长期稳定工作。 大宽幅新能源锂电视觉检测 宽幅铜铝极片、整卷铝塑膜、大尺寸隔膜双通道可见光 / 红外在线检测模组，压电马达动态补偿卷材高速抖动、设备温升造成的光路偏移，自动调节偏振光抑制大面积金属箔反光，稳定识别涂层缺料、微孔、密封胶气泡，适配百米级高速流水线全自动质检。 大功率激光与精密干涉测量 工业光纤激光、高功率半导体激光准直、迈克尔逊大口径干涉仪、激光光谱分析闭环光路，电脑程序自动校正光束俯仰与方位，抵消激光器长时间工作温漂；高校晶体、大面积高分子材料偏振显微自动化扫描实验，批量样品检测全程程序控制。