日本ULVAC爱发科单通道晶振传感探头CRTS-4

CRTS-4 是日本 ULVAC 爱发科CRTM 全系列膜厚控制器专用单通道晶振传感探头，定位常温通用型，腔体环境温度上限 100℃，无真空烘烤功能，标准高冷却结构，晶振片免工具快速更换，机身小巧适配各类镀膜机内部狭小空间布置。

核心规格参数 温度适用范围 *高耐受腔体环境温度 100℃以下；不支持腔体烘烤工艺（烘烤工况选用 CRTS-4U）ULVAC SHOW... 晶振配置 内置 1 片石英振荡晶片，标准适配 5MHz/6MHz 晶振片，可选长寿命版本 CRTS-84 结构与布线 紧凑型传感头部，安装占用空间小 信号线长度可定制，支持可弯曲管线方案，适配立式 / 卧式镀膜腔体长距离布线 快拆晶振座，无需工具拆装晶振片，大幅缩短换片维护工时 冷却设计 优化水冷冷却结构，保障晶振片恒温稳定，抑制高温带来的速率漂移，保证测厚精度长期稳定 真空适配 标准高真空通用型，适配普通光学、金属蒸镀腔体；超高真空烘烤产线选用 CRTS-4U