核心性能规格

1.晶振测量精度

• 适配晶振：4/5/6MHz 标准石英片，频率分辨率 1mHz
• 5MHz 晶振速率分辨率：0.0018 Å/s，适配 0.01~10Å/s 超低速有机蒸镀
• 采样周期 100ms，内置 CI 阻抗诊断，实时预判晶振片开裂、膜层过载损耗
• 测量量程：沉积速率 0.000~999.9Å/s；膜厚 0~999.9μm

2. 通道与自动化 IO

• 晶振通道：标配 4 路，选配扩展至8 路同步采集，RGB 三色有机共蒸设备单台覆盖
• 数字 DI：14ch、DO：8ch，联动蒸发源、挡板、真空阀门自动联锁
• 模拟输出：标配 2 路 0~10V/4–20mA，*高拓展 16 路，厚度、速率信号直连 PLC/DCS 中控

3. 通讯与品质追溯

• 双通讯标配：千兆以太网 + RS-232C，上位机远程读写工艺配方、实时采集生产数据
• USB 本地存储：全流程厚度、速率、报警日志导出 CSV 文件，满足面板厂、光伏行业质控审核追溯
• 断电配方备份：可存储 999 套独立蒸镀程序，单程序支持 99 层多层膜分段控速、阶梯控温

4. 机身电气参数

• 供电：AC100–240V 宽电压，整机* 大功耗 150W
• 尺寸：480×320×130mm 标准 4U 机架式安装，整机 5.3kg（满载选件 5.8kg）
• 使用环境：5~40℃、20~85% RH 无凝露，室内机柜 IP20 防护
• 配套探头：CTM-EL 单路 / CTM-EL-D 双路专用传感器，线缆可选 4/8/12/16/20m 加长款