日本ULVAC爱发科 低温多级罗茨干式真空泵

LR90 属于 LR 系列中流量低温均热型多级罗茨干泵，介于 LR60 与 LR180 之间，无油干式结构，采用一体式铝合金全域低温均热泵体，依靠压缩热均匀控温，避免水汽、低沸点溶剂冷凝结露粘附转子。

核心技术参数（50Hz 标准工况）

• 核心优势 低温均热防冷凝：泵体全域温度均匀，适配 Loadlock 频繁大气 - 真空循环，抑制水汽结露，减少转子积垢清理频次； 氦密封洁净无返油：屏蔽密闭电机隔离润滑油，无油蒸气污染晶圆、光学基板，满足无尘车间洁净标准； 轻度耐蚀耐用：内部零件特殊硬化钝化处理，可应对微量弱腐蚀有机蒸汽，无法处理高浓度卤素、大量硅粉尘； 节能降噪可选配：加装节能模块大幅降低极限真空待机功耗，搭配消音器降低运行噪音；
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• 用途
• 成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）
• 缩短备料下料室的排气时间
• 作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）