日本ULVAC爱发科 低温多级罗茨干式真空泵
LR60 为 LR 系列小型低温均热多级罗茨干泵，定位洁净轻腐蚀工艺，区别于 HR 高温防腐系列，采用低温全域均热设计，无油干式多级罗茨结构，屏蔽氦密封电机，适配小型 PVD 镀膜、Loadlock 锁仓、分子泵前级抽气。
核心技术参数（50Hz 标准工况）