日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵

HR1200 旗舰级高温防腐多级罗茨干泵，50Hz 抽速 1090m³/h，泵腔恒温防止蚀刻粉尘凝结，内腔防腐涂层耐受卤素腐蚀气体。屏蔽电机氮气密封无返油，水冷结构配备毫秒级断电保护与远程通讯，专为 12 寸多腔体晶圆、高世代面板刻蚀、CVD、ALD 量产设备打造，超大抽速、维护周期长，适配 24 小时高稼动自动化腐蚀产线。

核心技术参数（50Hz 标准工况）

• 抽气速率：1090m³/h；60Hz 工况 1170m³/h
• 极限真空：≤0.05Pa，大气压至极限真空连续运行
• 电机功率：15kW，三相 AC200V 50/60Hz，稳态电流 15.4A
• 管路接口：吸气 VG100 (KF100)，排气 KF40
• 冷却方式：水冷，冷却水流量≥5L/min，水压 0.1~0.3MPa
• 吹扫配置：轴封氮气 5SLM，气镇 0~45SLM 可调
• 整机重量：420kg
• 配套功能：运行参数实时监测、故障履历存储、断电防废气倒灌、产线集中通讯监控
• 使用限制：不可在 200Pa 以上吸入压力长期连续运转

用途
・CVD装置
・蚀刻装置
・灰化装置
・ALD、ALH 等