日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵

HR600 大流量高温防腐多级罗茨干泵，50Hz 抽速 653m³/h，泵腔恒温防止蚀刻粉尘凝结，内腔防腐涂层耐受卤素腐蚀气体。屏蔽电机氮气密封无返油，水冷结构配备毫秒级断电保护与远程通讯，主要用作 12 寸多腔体半导体刻蚀、CVD、ALD 量产设备前级泵。

核心技术参数（50Hz 标准工况）

• 抽气速率：653m³/h；60Hz 工况 701m³/h
• 极限真空：≤0.67Pa，大气压至极限真空可连续运行
• 电机功率：11kW，三相 AC200V，稳态电流 12.9A
• 管路接口：吸气 VG100，排气 KF40
• 冷却方式：水冷，冷却水压力 0.1~0.3MPa
• 吹扫配置：轴封氮气 5SLM，气镇 0~45SLM 可调
• 整机重量：370kg
• 配套功能：运行参数实时监测、故障履历存储、断电防废气倒灌保护

用途
・CVD装置
・蚀刻装置
・灰化装置
・ALD、ALH 等