日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵
HR300 中大流量高温防腐多级罗茨干泵，50Hz 抽速 359m³/h，泵腔恒温防止蚀刻粉尘凝结，内腔防腐涂层耐受卤素腐蚀气体。屏蔽电机氮气密封无返油，水冷结构配备毫秒级断电保护与远程通讯，主要用作 8/12 寸半导体刻蚀、CVD、ALD 量产设备前级泵，适配大型腐蚀工艺腔体，抽速大、维护周期长。
规格参数
抽气速率：359m³/h；60Hz 工况 440m³/h 极限真空：≤0.67Pa，可大气压直抽 电机功率：7.5kW，三相 AC200V 管路接口：吸气 VG80 (KF80)，排气 KF40 冷却方式：水冷，冷却水流量≥5L/min 吹扫配置：轴封氮气 5SLM，气镇 0~45SLM 可调 整机重量：275kg 配套功能：温度 / 电流实时监测、故障记录、瞬时断电防废气倒灌
高温区域均热化 实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。 “Model:UR”比“Model:HR”更加高温化。 氦气密封 通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构。 瞬停对策 采取了1000msec以内瞬停对策。 出色的耐腐蚀性 主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。 通信功能 可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途 ・CVD装置 ・蚀刻装置 ・灰化装置 ・ALD、ALH 等