日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵

HR90 中型高温防腐多级罗茨干泵，50Hz 抽速 112m³/h，泵腔恒温 120~150℃防粉尘凝结，内腔防腐涂层耐受蚀刻卤素气体。屏蔽电机氦密封无返油，标配氮气吹扫、毫秒级断电保护与远程通讯，主要用作 6/8 寸半导体刻蚀、CVD、ALD 设备前级泵，适配中型腐蚀工艺腔体，耐久易维护。

规格参数

• 抽气速率：112m³/h；60Hz 工况 126m³/h
• 极限真空：≤5Pa
• 电机功率：3.7kW，三相 AC200V，稳态运行电流 11.2A
• 管路接口：吸气 VG80 (KF50)，排气 KF40
• 吹扫配置：轴封氮气 5SLM，气镇 0~45SLM 可调
• 冷却方式：水冷，适配长时间高温工况
• 整机重量：245kg
• 配套功能：故障记录读取、远程启停、断电防废气倒灌保护

特点

高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR”比“Model:HR”更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途
・CVD装置
・蚀刻装置
・灰化装置
・ALD、ALH 等