日本ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵

HR60 为 HR 系列小型高温防腐多级罗茨干泵，对标普通 LR 基础款升级恒温加热、防腐涂层、氦气密封，专为半导体蚀刻、CVD、ALD 产生卤素、升华粉尘的腐蚀工艺设计，全程干式无油，泵体全域恒温加热防止副产物冷凝结块，适配小型工艺腔体连续量产，是高腐蚀洁净制程专用前级真空泵。

规格参数

抽速：50Hz 62m³/h，60Hz 80m³/h
极限真空：0.1~0.3Pa，可大气压直抽 接口：进气 VG50 (KF50)，排气 KF40
供电：三相 AC200V 50/60Hz；稳态电流 7.1A 冷却：水冷，冷却水流量 10~30L/min
吹扫：轴封氦吹扫 5SLM，气镇 0~5SLM 可调 整机重量：180kg
自带 1000ms 瞬时断电保护、串口通讯远程监控

特点

高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR”比“Model:HR”更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途
・CVD装置
・蚀刻装置
・灰化装置
・ALD、ALH 等