日本ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵

LS600A 为爱发科 LS 系列中大型无油螺杆干泵，分C 洁净型、L 轻工艺型两款，标称抽速 600m³/h，极限真空≤0.1Pa，水冷冷却，适配中大腔体量产真空产线，全程无油无返油污染，支持 24 小时连续运行。

规格参数

• 抽速：600m³/h；极限真空：≤0.1Pa
• 冷却：水冷，冷却水≥4L/min
• 稳态功耗：C 型 2.6kW，L 型 3.0kW
• 噪音：64dB (A)；进气 ISO-F80，排气 KF40
• 供电：三相 AC200~480V 50/60Hz，带远程启停、故障报警信号
• 整机重量：238kg

型号区分

• LS600A-C 洁净款 搭载 ECO-SHOCK 节能系统，无氮气吹扫，仅可抽取干燥氮气、洁净空气；极限真空低功耗运行，适合无水汽、无溶剂、无粉尘高纯制程。
• LS600A-L 轻工艺款 泵腔耐水汽表面处理，标配 0~50SLM 可调氮气吹扫，*大处理水汽 1.5kg/h，可应对微量水汽、低浓度稀溶剂蒸汽；不可抽取卤素、强酸、大量粉尘，强腐蚀工况选用 MS 系列。

用途
“Model:LS”有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型，适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说，包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。
其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能，适于水蒸汽和挥发性 药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。