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到货全新ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵
产品型号:LS120A
产品简介:

LS120A 风冷干式螺杆真空泵,分 C 洁净节能款、L 轻度工艺款,50Hz 抽速 120m³/h,极限真空≤0.6Pa。整机风冷无需冷却水,无油洁净无返油污染,适配光学镀膜、半导体锁仓、实验室冻干、小型锂电脱泡等工况。

详细介绍

日本ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵


LS120A 风冷干式螺杆真空泵,分 C 洁净节能款、L 轻度工艺款,50Hz 抽速 120m³/h,极限真空≤0.6Pa。整机风冷无需冷却水,无油洁净无返油污染,适配光学镀膜、半导体锁仓、实验室冻干、小型锂电脱泡等工况。

规格参数

参数 LS120A-C(洁净款) LS120A-L(轻工艺款)
标称抽速 120m³/h 120m³/h
极限真空 ≤0.6Pa ≤0.6Pa
稳态功耗 0.6kW(ECO 节能) 2.0kW
冷却方式 水冷,冷却水≥2L/min 水冷,冷却水≥2L/min
氮气吹扫 0~50SLM 可调
*大水汽处理 不可抽水汽 1.5kg/h(开吹扫)
噪音 61dB(A) 61dB(A)
吸气口 KF50/VG50 KF50/VG50
排气口 KF40 KF40
整机重量 142kg 142kg
供电 三相 AC200~240V/380~480V 三相 AC200~240V/380~480V

特点

■大气压附近的排气速度*大为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以下,
这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级(*1)

■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。
该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下(*2)

■“Model:LS”无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本(*3)
■希望进一步提高排气速度的话,建议您搭配机械增压泵使用。
通过组合使用排气速度可以达到120~1200m3/h。

(*1)LS120A-C时
(*2)C规格时
(*3)L规格还可以使用稀释气体。


用途
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。


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