日本现货ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵

MS600A 属于 MS 系列中型无油螺杆干泵，双螺杆无接触干式结构，全程无润滑油，输出洁净无油真空；转子与泵腔内置氟 / 陶瓷复合防腐涂层，适配腐蚀溶剂、粉体、高水汽工况，大气压直抽无需前级泵，风冷 / 水冷双版本可选，面向锂电、半导体、光学镀膜中型量产产线。

核心规格（50Hz）

抽气速率：560m³/h（标称 600m³/h） 极限真空：≤0.1Pa 主电机功率：7.5kW，极限真空稳态功耗 3.1kW 供电：三相 AC200~240V/380~480V 50/60Hz 接口：吸气 ISO-F80，排气 KF40 冷却：标准风冷，可选水冷（冷却水≥4L/min） 吹扫氮气：0~50SLM 可调 *大处理水汽：1.5kg/h 运行噪音：62dB (A) 整机重量：241kg 耐受介质：NMP、卤素、弱酸弱碱、锂电粉尘、镀膜颗粒

特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。