日本ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵

MS120A 为爱发科 MS 系列小型无油螺杆干泵，基于 LS 干泵平台强化防腐、排粉尘、耐水汽能力，双螺杆非接触无油结构，全程无油输出洁净真空，可大气压直抽至极限真空，无需预抽辅助泵，适配含腐蚀气体、粉体、水汽的严苛 24 小时连续量产工艺。

核心规格（50Hz）

抽气速率：120m³/h
极限真空：≤1Pa
电机功率：2.2kW
吸气口：KF50；排气口：KF40
冷却方式：水冷，冷却水流量≥4L/min
吹扫氮气：0~50SLM 可调
*大耐水汽量：1.5kg/h
运行噪音：62dB (A)
整机重量：139kg

供电：三相 AC200V，标配本地数显控制面板，支持外部远程启停与故障报警输出

特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。