日本KOHZU神津精机 电动精密升降台 ZA10A-X102
ZA10A-X102 为 100×100mm 铝合金电动 Z 轴升降台，总行程 25mm，承重 10kgf，精密研磨丝杆搭配交叉滚柱导轨，亚微米级重复定位精度，集成原点与限位光电。机身轻量化可组合 XY 滑台构成三轴平台，可升级无尘润滑，适配晶圆检测、光学对焦、锂电微观检测、实验室精密设备。
参数规格
参数项目 技术指标 工作台尺寸 100mm×100mm，全台面 M3 安装螺纹孔 升降行程 ±12.5mm（总行程 25mm） 传动结构 精密研磨丝杆，导程 0.5mm 导轨 精密交叉滚柱导轨，预紧消隙 分辨率 整步 0.5μm / 半步 0.25μm；1/20 微步 0.025μm *高运行速度 2.5mm/s 重复定位精度 ≤±0.3μm（亚微米级） 空程损失 ≤2μm 升降垂直度 ≤10μm/25mm 水平额定负载 98N（10kgf） 驱动电机 五相步进电机 PK544PMB 标配传感 HOME 原点、上下限位光电 机身材质 航空铝合金，白色硬质阳极氧化 整机自重 2.95kg 润滑可选 标准润滑；可升级 CL 无尘低挥发润滑适配洁净车间 应用场景
半导体 8 寸整片晶圆高度对焦、探针台样品垂直微调 光学镜头耦合、激光光路自动校准 锂电隔膜、铝塑膜微观瑕疵检测 显示面板膜厚扫描、金相显微自动升降载台 真空镀膜设备基片升降、高校新材料科研测试设备配套