全新KOHZU神津精机电动精密升降台 ZA10A-32F01 池田屋实业（深圳）有限公司

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全新KOHZU神津精机电动精密升降台

产品型号：ZA10A-32F01

产品简介：

日本 KOHZU 神津精机主营手动 / 电动精密位移台、六轴自动对准模组、真空洁净平台、振动模拟台、Dyvoce 表面轮廓测量系统、放射光专用分光调节机构，依托交叉滚子无背隙导轨、亚微米级重复定位、洁净 / 真空专用润滑、宽温高刚性机身，覆盖半导体、平板显示、光通信光学、车载传感、新能源锂电、精密检测仪器、理化科研同步辐射、生物医疗、激光加工、新材料化工行业。

详细介绍

全新KOHZU神津精机电动精密升降台 ZA10A-32F01

ZA10A-32F01 为 100×100mm 重载电动 Z 轴升降台，总行程 30mm，承重 30kgf，蜗杆蜗轮自锁传动，四面滚柱导轨，亚微米级重复定位精度，集成原点与限位光电感应。铝合金机身可升级洁净润滑，可组合 XY 滑台构成三轴自动平台，适配晶圆检测、光学对焦、锂电隔膜、显示面板精密高度调节。

参数规格

参数类别	技术指标
工作台尺寸	100mm × 100mm，全台面 M3 标准安装螺纹孔
有效升降行程	±15mm（总行程 30mm）
水平额定负载	294N（30kgf），同规格重载机型
传动结构	蜗杆蜗轮自锁 + 滚珠丝杠（导程 4mm），断电机械自锁防下坠
导轨形式	四面平面滚柱导轨，高刚性、低空回
重复定位精度	≤±0.2μm
微步分辨率	0.005μm（亚微米级）
空程损失	≤2μm
升降垂直度	≤8μm / 30mm 全行程
驱动电机	东方五相步进电机
标配传感	HOME 原点传感器、上下极限限位光电感应
机身材质	航空铝合金，白色硬质阳极氧化
整机自重	4.3kg
润滑可选	标准通用润滑；可付费升级 CL 洁净低挥发润滑

应用场景 半导体 8 寸整片晶圆高度对焦、探针台样品垂直微调光学镜头耦合、激光光路自动校准锂电隔膜、铝塑膜微观瑕疵检测显示面板膜厚扫描、金相显微自动升降载台真空镀膜设备基片升降、高校新材料科研测试设备配套