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日本KOHZU神津精机精密横辊导向器
产品型号:YM07A-S1
产品简介:

YM07A-S1 是 70×70mm 台面标准型手动 XY 二维微调平台,核心采用精密十字滚柱(横辊)导向机构,侧推式测微头驱动,机身紧凑轻薄,专为实验室光学对准、晶圆小样微调、薄膜厚度标定、光路校正、离线精密抽检设计;支持洁净脂、真空润滑脂两种定制版本。

详细介绍

KOHZU神津精机手动线性滑台   YM07A-S1


YM07A-S1 是 70×70mm 台面标准型手动 XY 二维微调平台,核心采用精密十字滚柱(横辊)导向机构,侧推式测微头驱动,机身紧凑轻薄,专为实验室光学对准、晶圆小样微调、薄膜厚度标定、光路校正、离线精密抽检设计;支持洁净脂、真空润滑脂两种定制版本。

1.十字滚柱横辊导向,顺滑低摩擦 交叉滚柱线接触结构,相比滚珠导轨运动阻力更小、无卡顿,长时间往复微调无间隙、无爬行,光路微米级对位重复性强。 2.超高正交 + 极低直线漂移 出厂全域校准,正交度、真直度严苛管控,双轴联动对位无角度偏移,适配激光、光学膜均匀度标定、测厚设备样品定位。 3.侧推紧凑型结构,节省设备空间 测微头侧向布置,整机高度低矮,可直接搭载 TOF 台式测厚仪、光学显微镜、UV 检测工装使用。 4.两种润滑版本覆盖多工况 标准版洁净脂适配无尘车间、常规实验室;-V 真空款低挥发润滑,可放入小型真空腔体做离线真空对位测试。 5.高承载轻量化机身 70 台面可承载 5.5kg 样品治具,铝合金机身自重仅 0.86kg,便于移动轮换工位。

规格概览

参数项目 YM07A-S1 标准规格
台面尺寸 70mm×70mm
导向机构 精密十字滚柱(横辊)导轨
单轴行程 ±6.5mm(总行程 13mm)
驱动元件 13mm 行程微分测微头
*小刻度读数 10μm / 格
正交度误差 ≤20μm/13mm
运动真直度 ≤2.0μm/13mm
力矩刚性 0.2 arcsec/N·cm
水平允许承载 5.5kg(53.9N)
主体材质 铝合金,白色哑光阳极氧化
整机自重 0.86kg
适配润滑 标准洁净润滑;可选 - V 真空润滑脂(高真空腔体使用)
反向型号 YM07A-S1-RRR(测微头反向安装)
  1. 标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

半导体微电子行业
精密测量设备
高校科研实验室

选配件

定制专用润滑

读数放大镜

防尘罩

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