MIYUKI美幸辉真空气动蝶阀 B-J50

B-J50 是日本美幸辉洁净级高真空切断蝶阀，阀体 SUS304 镜面电解抛光、低放气低发尘，氦检超低泄漏；气缸内置气垫缓冲，启闭无冲击震动，适配自动化 PLC 联锁控制，多用于镀膜机、光学检测设备、半导体真空腔体大管路抽气、破空隔离。

超低泄漏高真空专用，半导体制程标配 氦质谱检漏达标高真空设备标准，适配 OPTM 系列膜厚仪、真空蒸镀、卷对卷涂布真空腔体隔离，杜绝腔体真空度衰减。 SUS304 镜面抛光，洁净低发尘 无毛刺、无积尘死角，不会污染晶圆、光学薄膜样品，适配纳米薄膜精密检测真空环境。 两位快速通断，自动化联动便捷 纯开关逻辑，搭配二位五通电磁阀即可远程控制，可与 SF-3 晶圆测厚仪、OPTM 膜厚仪做真空管路联锁程序。 双作用 / 单作用弹簧复位两种气缸可选 双作用：气源持续保压维持状态，能耗低； 单作用弹簧复位：断气自动关闭腔体，防止大气倒灌污染样品。 宽温耐腐密封可选，适配多种工艺气体 标准 FKM 适配常规氮气吹扫；Kalrez 全氟醚可耐受有机溶剂、弱酸弱腐蚀工艺气体，耐高温烘烤。

规格概览

1. 参数项目	标准规格
   型号	B-J50
   公称通径	DN50A
   连接法兰	JIS 标准法兰，可选 KF/NW、ISO、CF 法兰替换定制
   驱动形式	双作用气动气缸（可选单作用弹簧复位）
   气源要求	0.4~0.6MPa 洁净无油干燥压缩空气
   真空适用区间	常压 1×10⁵ Pa ~ 高真空 1×10⁻⁵ Pa
   泄漏性能	阀体内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；阀杆外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
   过流材质	阀体、蝶板、阀杆 SUS304 不锈钢镜面电解抛光
   标准密封	FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚（耐腐蚀、耐高温烘烤）
   耐温上限	阀体*高 150℃烘烤；气缸环境温度≤40℃
   启闭缓冲	气缸内置气垫缓冲，开关无撞击、低噪音
   使用寿命	标准循环≥100 万次
   信号反馈	可选 NPN/PNP 微动开关，输出全开 / 全关到位信号，直连 PLC
   安装方向	任意角度安装，无介质流向限制
2. 标配附件
3. 真空蝶阀阀体
4. 标准气动气管快插接头
5. 使用说明书

适配场景

真空波纹管

转接法兰
阀位微动反馈开关