日本进口MIYUKI美幸辉气动蝶阀 B-J25

B-J25无中间调节开度，用于真空主管切断、腔体隔离、破空通断；超薄阀体大通导、低泄漏、无尘装配，适配半导体镀膜、光学、锂电、实验室高真空管路。

1.超高真空低漏率，精密检测设备专用 氦质谱检漏达标，适配膜厚仪、蒸镀机、CMP 设备高真空腔体，不会因阀门漏气造成膜厚测量数据漂移。 2.SUS304 镜面抛光，洁净低析出 无油污、无金属粉尘析出，不会污染晶圆、光学薄膜样品，半导体 / 显示产线无尘制程标配。 3.气垫缓冲气缸，低振动不干扰精密仪表 开关减震结构，运行震动极小，配套大塚 OPTM、SF-3 系列光学检测设备无光谱干扰。 4.全角度自由安装，设备布局灵活 无安装姿态限制，狭小腔体、立式真空炉、卧式涂布机均可适配改造。

规格概览

1. 参数项目	B-J25 DN25A 标准指标
   公称口径	DN25A（JIS 标准法兰）
   适用真空区间	1×10⁵ Pa（常压） ~ 1×10⁻⁵ Pa（高真空）
   泄漏指标（氦检）	阀体密封内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；阀杆外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
   驱动气缸	标准双作用气动气缸；可选单作用弹簧复位（失气关闭 / 打开）
   工作气源	洁净干燥无油压缩空气 0.4~0.6MPa
   开关动作时间	0.3~0.6s 快速启闭
   过流接触材质	阀体、蝶板、阀杆 SUS304 不锈钢电解镜面抛光
   标准密封件	FKM 氟橡胶 O 型圈；可选 Kalrez 全氟醚（耐强腐蚀、耐高温烘烤）
   介质温度	FKM：-25℃ ~ 120℃；Kalrez：-30℃ ~ 150℃
   阀体烘烤温度	*高 150℃（气动气缸不可高温烘烤，环境≤40℃）
   法兰标准	JIS 25A 标准法兰；可替换 KF25、ISO 法兰选配
   安装方式	任意角度无限制（水平 / 垂直倒置均可安装）
   防护洁净等级	洁净室 Class1000 组装，无析出低放气
   可选附件	阀位微动开关（开 / 闭信号反馈）、电磁阀、消音器
2. 标配附件
3. 真空蝶阀阀体
4. 标准气动气管快插接头
5. 使用说明书

适配场景

真空波纹管

转接法兰
阀位微动反馈开关