Otsuka大塚电子微分光膜厚仪   OPTM-A3

OPTM-A3 属于OPTM-A 全自动 XY 平台系列，是短波近红外专用机型，主打厚有机树脂、宽禁带半导体、红外光学涂层微区无损测厚；搭配全自动电动载台，支持整片晶圆 / 基板 Mapping 扫描，替代传统椭偏仪，适配功率半导体、锂电、红外光学材料研发与质检。

1. 专属近红外波段，适配厚膜与宽禁带半导体
   900–1600nm 光谱，可稳定检测厚胶、聚酰亚胺厚层、SiC/GaN 外延膜、红外阻隔膜，可见光 / 紫外机型无法精准解析厚有机层与碳化硅材料。
2. φ3μm 超微光斑，微小芯片区域精准量测
   *小 3μm 聚焦光斑，可测量功率器件芯片微区、窄条厚涂层，规避大面积光斑杂膜干扰。
3. 全自动 XY 平台全域 Mapping
   自定义网格点位自动扫描，生成全片厚度分布云图，一键导出均匀性报告；内置防撞传感器，防止撞片损坏昂贵基板。
4. InGaAs 红外检测器，红外弱信号高灵敏采集
   针对近红外反射光优化，深色、厚树脂、低反射红外薄膜数据稳定，无基线漂移问题。
5. 透明基板专用算法
   玻璃、树脂、隔膜无需遮挡背面，自动消除基底背面反光干扰。

规格概览

1. 项目	OPTM-A3 参数
   光谱波段	900～1600 nm 近红外 NIR
   SiO₂等效膜厚区间	16 nm ～ 92 μm（全系量程*厚）
   检测器	InGaAs 近红外专用传感器（区别 A1/A2 的 CCD）
   光源	卤素灯（无氘灯，维护成本低）
   测量光斑	标准 φ10μm，*小 φ3μm 微图案专用光斑
   单点测量速度	≤1 秒 / 点，高速批量检测
   电动 XY 载台	X200mm × Y225mm，*大样品 200×200×17mm
   重复精度	0.1nm 级，厚度准确度 ±0.2%
   多层膜解析	*多同时拟合 50 层复合薄膜
   适配基底	SiC/GaN、硅片、厚树脂、玻璃、锂电隔膜、红外光学基板
2. 标配附件

膜厚仪主机

电源线

使用说明书

适配场景

标准校准片

偏振光学测量模块