Otsuka大塚电子一体化分光干涉膜厚量测仪    FE-300

 FE-300桌面一体式非接触分光干涉膜厚监测仪主打平板显示、光学薄膜、塑胶涂层、半导体常规薄膜实验室 / 产线快速抽检；一体化光路杜绝分体设备光漂误差，操作极简，无需显微对焦，适合大面积整膜快速检测。

1.大光斑免对焦，操作零门槛 φ3mm 大光斑，整片均匀薄膜无需对位、无需显微镜头对焦，新手放片即可测量，检测效率远高于显微式膜厚仪。 2.一体化光路，长期数据稳定 摒弃光源与探头分离结构，消除温漂、光漂导致的数据漂移，适合产线长期连续抽检，数据重复性优异。 3.多重解析算法，适配各类复杂薄膜 支持单层 / 10 层多层膜、弱干涉薄膜、渐变折射率材料，同时解析折射率 n 与消光系数 k，完整评价光学性能。 4.无损非接触，样品可重复使用 无探针、无化学腐蚀，贵重光学基板、柔性 OLED 薄膜可反复测试，无样品损耗。 5.整机小巧轻量化，占地小 台式紧凑型机身，实验室工作台、产线质检工位均可摆放，搬运安装便捷。

规格概览

1. 项目	OPTM-A1 参数
   光谱波段	230 ~ 800 nm（深紫外 + 可见光）
   可测膜厚区间	1 nm ~ 35 μm（SiO₂等效厚度）
   测量光斑	标准 10μm，*小可达 φ3μm（微图案专用）
   单点测量速度	≤1 秒 / 点，高速批量检测
   感光元件	CCD 检测器
   光源	氘灯（紫外）+ 卤素灯（可见光）
   载台规格	全自动电动 XY 平台，*大支持 200×200mm 晶圆
   测量精度	厚度准确度 ±0.2%，重复性 0.1nm 级
   多层膜解析	*多同时拟合 50 层复合薄膜
   适用基底	硅片、石英、玻璃、金属、透明 / 半透明基板
2. 标配附件

膜厚仪主机

电源线

使用说明书

适配场景

标准校准片

偏振光学测量模块