RYUKI 東京流機工業 平面流量计FLO-PL9
FLO-PL9 是 PL 系列微小流量专用面板式面积流量计，专为实验室微量气液监测设计，垂直下进上出安装，三面亚克力全包防护玻璃锥管，防磕碰碎裂；可加装内置微调阀、磁性流量开关，支持面板嵌入式安装，适配极小流量精密测控。
1.微量流量专用，红宝石浮子灵敏度高 针对 mL/min 级微小流量优化，红宝石轻质浮子，极小流量即可稳定指示，适合光纤耦合、微流控、色谱载气、微量保护气监测。 2.背板隐藏式流向，设备面板美观整洁 背下进背上出管路布局，气管水管全部收纳在机柜后方，设备正面仅显示刻度窗口，光学、半导体精密设备外观规整。 3.三面全包裹亚克力防护 区别普通单面防护流量计，玻璃管三面封闭防护，实验室、产线磕碰不易破损，无尘环境易擦拭清洁。 4.本体集成微调阀，简化设备气路设计 流量计自带精密调节阀，无需额外加装针阀，减少接头、降低泄漏风险，缩小设备内部空间占用。 5.气液两用，洁净防腐材质可选 黄铜本体通用工况；SUS304 不锈钢 + 氟橡胶密封无金属污染，满足百级无尘半导体晶圆吹扫工艺。
规格概览
参数项目 标准规格 测量介质 气体：空气、N₂、Ar、CO₂；液体：纯水、透明冷却液、弱腐蚀透明溶剂 量程比 10:1（有效测量区间满量程 10%～100%） 测量精度 ±2% FS 满量程精度 *大工作压力 0.7 MPa（7bar） 介质*高温度 80℃（氟橡胶密封耐有机溶剂工况） 流量量程（微量区间） 气体：1 NmL/min ～ 10 NL/min 液体：0.1 mL/min ～ 1 L/minryuki.jp 锥管材质 高硼硅硬质玻璃，刻度蚀刻清晰、不易雾化划伤 浮子材质 微量款标配红宝石浮子（低自重、响应灵敏） 阀体本体 标准黄铜 BS；可选 SUS304 不锈钢（半导体无尘防腐） 密封垫片 标准 NBR 丁腈橡胶；可选 CR 氯丁、FKM 氟橡胶耐醇酮溶剂 管路接口 Rc1/4 内螺纹（微量专用小口径） 安装方式 控制柜面板嵌入式安装，标配面板固定法兰 标配部件 内置精密微调针阀、三面亚克力防护外壳 标准配件
流量计本体
亚克力防护外罩
流量参数标签
应用场景
超纯水循环管路流量显示
氩气保护气流量监测
纯水监控
选配件
前端小型 Y 型过滤器
R1/R2 流量磁簧触点
活接接头