KOHZU神津精机手动线性滑台   XM10A-S1

XM10A-S1 为 100mm 大台面轻载单轴高精度手动定位台，搭载标准十字交叉滚子导轨，全程依靠精密微分头进给，无粗调间隙误差，适配大尺寸光学镜组、6/8 寸晶圆、多通道探针、大型显微样品一维全程微米级精准锁定定位场景。

1. S1 全程微分直驱，全行程高精度稳定可控
   无粗调手轮带来的间隙误差，全部 25mm 移动区间统一 0.5μm 细分刻度，适合全程都需要微米级精度的光路校准、半导体连续检测。
2. 十字交叉滚子高刚性导轨，长行程不漂移
   线接触支撑对比滚珠点接触，承载均匀、抗偏转，±12.5mm 长距离往复运动光斑、探针点位无偏移。
3. 超薄轻量化机身，设备集成灵活
   整机仅 0.68kg，显微镜、大型检测设备机柜内安装无负重压力；两台搭配转接板可搭建大行程二维 XY 精密平台。
4. 洁净室出厂标准，无尘产线直用
   专用无尘无挥发润滑脂，上机无粉尘、油气析出，无需二次洁净处理，满足百级无尘车间使用要求。
5. 标准化密集安装孔位，拓展性丰富
   台面多组 M3 阵列孔适配各类光学配件、真空载台、探针治具

规格概览

1. 标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

定制专用润滑

读数放大镜

防尘风琴罩