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原厂KOHZU神津精机精密横辊导向器
产品型号:XM07A-C3-CL
产品简介:

YM07A-C3-CL 为 70mm 台面一体式轻载 XY 精密定位台,搭载十字交叉滚子导轨,粗调快移 + 微米精调 + 锁紧锁位三合一结构,兼顾操作效率与长期点位稳定,适用于光学光路、半导体探针、共聚焦显微、激光微加工二维高精度对位场景。

详细介绍

KOHZU神津精机手动线性滑台   YM07A-C3-CL


YM07A-C3-CL 为 70mm 台面一体式轻载 XY 精密定位台,搭载十字交叉滚子导轨,粗调快移 + 微米精调 + 锁紧锁位三合一结构,兼顾操作效率与长期点位稳定,适用于光学光路、半导体探针、共聚焦显微、激光微加工二维高精度对位场景。

1.一体式 XY 集成,装配简便省空间
双轴共用一体化底座,无需转接板拼接两台单轴台,显微镜、小型检测设备狭小机柜可直接固定,简化工装结构设计。 2.粗微双调一体,大幅提升二维对位效率
粗调手轮快速将样品、镜头移动至目标区域,再通过微分头做 0.5μm 级精准修正,无需反复来回调节,大幅缩短光路、探针二维校准工时。 3.CL 中心锁止,点位长期稳定不漂移
微调到位后旋转锁紧旋钮锁死微分丝杆,长时间批量检测、连续观测过程中,震动、触碰不会产生微小偏移,保障检测数据一致性。 4.交叉滚子高刚性导轨,定位稳定性强
对比滚珠点接触导轨,线接触支撑承载更均匀、抗偏转能力更强,长时间运行光斑、探针点位无漂移。 5.超薄轻量化机身,洁净室通用
整机仅 0.88kg,体积小巧;出厂无尘专用润滑脂,无粉尘、油气析出,满足百级无尘车间使用要求。

规格概览

参数项目 标准技术指标
台面尺寸 70mm × 70mm
导向结构 精密十字交叉滚子导轨
行程分段 粗调总行程 13mm;微分微调行程 0.3mmKohzu Precision Co.,Ltd.
*小刻度读数 粗调:10μm / 格;微分微调:0.5μm / 格
直线度误差 ≤2μm/13mm
X/Y 轴正交度 ≤5μm/13mm
力矩刚性 0.2 arcsec/N·cm
水平允许均布负载 53.9N(5.5kgf)Kohzu Precision Co.,Ltd.
重复定位精度 ≤±0.3μm
台面安装螺纹 8 处 M3 沉孔,深度 5mm
底座固定螺纹 4 处 M4 安装孔,深度 5mm
主体材质 航空铝合金
表面处理 哑光白色硬质阳极氧化,无尘无粉尘脱落
整机自重 约 0.88kg
标配微分头 FPP03-13 中心锁止精密定位器
  1. 标配附

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

半导体微电子行业
精密测量设备
高校科研实验室

配件

定制专用润滑

读数放大镜

防尘风琴罩

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