KOHZU神津精机手动线性滑台    XM07F-S3-CL 

XM07F-S3-CL 是洁净室专用重载单轴手动位移台，钢制强化机身搭配密闭 CL 防尘结构，兼顾大承载与无尘环境使用需求。适配半导体无尘产线重型光学、检测工装单轴微调，标准安装孔支持多轴堆叠搭建多维重载模组，长期在无尘工况保持稳定高刚性定位效果

1. 加厚钢重载底座，超高抗倾覆刚性
   F 系列加厚钢底座搭配加宽交叉滚子，偏心搭载重型工装时台面不易倾斜，长时间批量检测光斑、探针点位零漂移，解决重载滑台偏转误差问题。
2. 11kg 高承载能力，适配重型检测工装
   相较 A 底座负载翻倍，可直接搭载大功率激光镜组、多通道探针模组、大尺寸晶圆真空载台，无需额外加固支撑支架。
3. S3 粗微双调一体，大幅提升对位效率
   粗调手轮快速将样品 / 镜头移动至目标区域，再通过微分头做微米级精准修正，无需反复来回调节，大幅缩短光路、探针一维校准工时。
4. CL 中心锁止结构，点位长期稳定不漂移
   微调到位后旋转锁紧旋钮锁死微分丝杆，长时间观测、批量连续检测过程中，震动、触碰不会产生微米级偏移，保证检测数据一致性。
5. 洁净室出厂标准，半导体 / 光学产线直用
   专用无尘无挥发润滑脂，上机无粉尘、油气析出，满足百级无尘车间；可更换真空润滑套件适配真空腔体内部定位。

规格概览

1. 标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

定制专用润滑

读数放大镜

防尘风琴罩