原厂KOHZU神津精机精密横辊导向器 YM07F-S1 池田屋实业（深圳）有限公司

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原厂KOHZU神津精机精密横辊导向器

产品型号：YM07F-S1

产品简介：

YM07F-S1 是日本 KOHZU 神津精机70×70mm 一体式 XY 双轴重载精密定位台，F 代表加厚加厚重载底座，搭载加宽型十字交叉滚子导轨、S1 一体式微分头直驱结构，专为重型光学夹具、多通道探针、大尺寸样品二维高精度定位设计，适用于重载光学实验室、半导体工业检测、大功率激光加工场景。

详细介绍

KOHZU神津精机手动线性滑台 YM07F-S1

YM07F-S1 是日本 KOHZU 神津精机70×70mm 一体式 XY 双轴重载精密定位台，F 代表加厚加厚重载底座，搭载加宽型十字交叉滚子导轨、S1 一体式微分头直驱结构，专为重型光学夹具、多通道探针、大尺寸样品二维高精度定位设计，适用于重载光学实验室、半导体工业检测、大功率激光加工场景。

1.加厚重载一体化底座，超高抗倾覆刚性

F 系列加厚底座搭配加宽交叉滚子，偏心搭载重型工装时台面不易倾斜，长时间批量检测光斑、探针点位零漂移，解决重载滑台偏转误差问题。
2.11kg 高承载能力，适配重型检测工装
相较 A 底座负载翻倍，可直接搭载大功率激光镜组、多通道探针模组、大尺寸晶圆真空载台，无需额外加固支撑支架。
3.S1 全程微分直驱，全行程高精度可控
无粗调间隙误差，全部移动区间依靠 0.5μm 微分头微调，适合全程微米级精度要求的光路校准、半导体探针检测。
4.洁净室出厂标准，半导体 / 光学产线直用
专用无尘无挥发润滑脂，上机无粉尘、油气析出，满足百级无尘车间；可更换真空润滑套件适配真空腔体内部定位。
5.一体式 XY 双轴集成，节省设备装配空间
双轴共用加厚一体底座，无需两台单轴台拼接，重型检测设备狭小机柜可直接装配，简化工装结构设计。

规格概览

参数项目	标准技术指标
台面尺寸	70mm × 70mm
导向结构	加宽型精密十字交叉滚子导轨
单轴总有效行程	±6.5mm（全行程 13mm）
驱动单元	FPP03 一体式精密微分头
微分*小刻度读数	0.5μm / 格
直线度误差	≤2μm/13mm
X/Y 轴正交度	≤5μm/13mm
力矩刚性	0.08 arcsec/N・cm（抗偏转远优于 A 底座）
水平允许均布负载	107.8N（11kgf），为 YM07A-S1 两倍左右神津精機株式会社
重复定位精度	≤±0.3μm
台面安装螺纹	8 处 M3 沉孔，深度 5mm
底座固定螺纹	4 处 M4 安装孔，深度 6mm
主体材质	加厚航空铝合金底座 + 台面
表面处理	哑光硬质阳极氧化，无尘无粉尘脱落
整机自重	约 1.28kg（加厚底座刚性更强）
镜像反向型号	YM07F-S1-RRR（设备对称布局专用）

参数项目标准技术指标

台面尺寸 70mm × 70mm

导向结构加宽型精密十字交叉滚子导轨

单轴总有效行程 ±6.5mm（全行程 13mm）

驱动单元 FPP03 一体式精密微分头

微分*小刻度读数 0.5μm / 格

直线度误差 ≤2μm/13mm

X/Y 轴正交度 ≤5μm/13mm

力矩刚性 0.08 arcsec/N・cm（抗偏转远优于 A 底座）

水平允许均布负载 107.8N（11kgf），为 YM07A-S1 两倍左右神津精機株式会社

重复定位精度 ≤±0.3μm

台面安装螺纹 8 处 M3 沉孔，深度 5mm

底座固定螺纹 4 处 M4 安装孔，深度 6mm

主体材质加厚航空铝合金底座 + 台面

表面处理哑光硬质阳极氧化，无尘无粉尘脱落

整机自重约 1.28kg（加厚底座刚性更强）

镜像反向型号 YM07F-S1-RRR（设备对称布局专用）

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

半导体微电子行业
精密测量设备
高校科研实验室

选配件

定制专用润滑

读数放大镜

防尘风琴罩

半导体微电子行业 精密测量设备 高校科研实验室

半导体微电子行业
精密测量设备
高校科研实验室