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原装KOHZU神津精机精密横辊导向器
产品型号:YM07A-S3-CL
产品简介:

YM07A-S3-CL 是日本 KOHZU 神津精机70×70mm 一体式 XY 双轴**手动定位台,搭载精密十字交叉滚子导轨,采用粗调丝杆 + 中心锁止微分头 S3 双调节结构,兼顾大范围快速移动、0.5μm 级微量精调与锁紧防漂移,面向**光学、半导体探针、共聚焦显微、激光微加工二维高精度定位场景。

详细介绍

KOHZU神津精机手动线性滑台   YM07A-S3-CL


YM07A-S3-CL 是日本 KOHZU 神津精机70×70mm 一体式 XY 双轴**手动定位台,搭载精密十字交叉滚子导轨,采用粗调丝杆 + 中心锁止微分头 S3 双调节结构,兼顾大范围快速移动、0.5μm 级微量精调与锁紧防漂移,面向**光学、半导体探针、共聚焦显微、激光微加工二维高精度定位场景。

  1. 粗微双调一体,大幅提升对位效率
    粗调手轮快速将样品 / 镜头移动至目标区域,再通过微分头做微米级精准修正,无需反复来回调节,大幅缩短光路、探针校准工时。
  2. CL 中心锁止结构,点位长期稳定不漂移
    微调到位后旋转锁紧旋钮锁死微分丝杆,设备运行振动、人员触碰不会产生微米级偏移,适合长时间观测、批量连续检测。
  3. 交叉滚子高刚性导轨,抗倾覆无间隙
    对比滚珠点接触导轨,线接触支撑承载更均匀、抗偏转能力更强,长时间运行光斑、探针点位不偏移。
  4. 70mm 宽大台面,承载适配性更强
    相较 50 台面 XM05 系列,水平负载提升至 5.5kg,可搭载大尺寸光学夹具、小型真空吸附载片、探针模组。
  5. 洁净室出厂标准,半导体 / 光学产线直用
    无挥发无尘专用润滑脂,上机无油气、金属粉尘析出,不会污染晶圆、光学元件,满足百级无尘车间使用要求。

规格概览

参数项目 规格指标
产品型号 YM07A-S3-CL
轴类型 XY 双轴手动精密位移台
导向结构 精密交叉滚柱导轨
台面尺寸 70mm×70mm
调节机构 S3 粗微一体调节,CL 洁净室防尘规格
单轴行程 粗调 13mm,微调 0.3mm
刻度分辨率 粗调 10μm / 格,微调 0.5μm / 格
额定水平负载 53.9N(5.5kgf)
主体材质 铝合金
表面处理 洁净专用防尘阳极氧化
直线度 ≤2μm/13mm
整机自重 0.73kg
核心特点 无尘密封结构,粗调快速走位、亚微米级精细校准,支持多轴堆叠
  1. 标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

半导体微电子行业
精密测量设备
高校科研实验室

选配件

定制专用润滑

读数放大镜

防尘风琴罩

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