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KOHZU神津精机精密横辊导向器
产品型号:XM07A-S1
产品简介:

XM07A-S1 是日本 KOHZU 神津精机70×70 台面单轴 X 向精密手动平移台,采用一体式微分头 FPP03 直驱结构,搭配精密交叉滚子导轨,主打微米级高精度一维定位,广泛用于光学光路、半导体探针、显微检测、激光微加工高精度微调场景。

详细介绍

KOHZU神津精机手动线性滑台   XM07A-S1 


XM07A-S1 是日本 KOHZU 神津精机70×70 台面单轴 X 向精密手动平移台,采用一体式微分头 FPP03 直驱结构,搭配精密交叉滚子导轨,主打微米级高精度一维定位,广泛用于光学光路、半导体探针、显微检测、激光微加工高精度微调场景。

  1. 一体式微分直驱,全程高精度
    无粗调机构,全部行程依靠 0.5μm 细分微分头调节,全程定位均匀稳定,适合需要全程微米级精度的光路对准、探针检测。
  2. 交叉滚子高刚性导轨
    线接触支撑对比滚珠点接触,抗倾覆、承载均匀,长时间观测光斑、探针点位无偏移漂移。
  3. 洁净室标准出厂配置
    专用无挥发无尘润滑脂,半导体晶圆、光学实验室可直接上机,不会污染光学镜片、芯片。
  4. 70mm 宽大台面,承载能力更强
    相比 50 台面 XM05 系列,负载提升至 5.5kg,可搭载镜头夹具、小型真空载片、探针模组。
  5. 标准化通用安装孔位
    台面 M3 阵列孔适配光学镜架、真空吸附载台、探针治具;底座 M4 大孔适配机架、显微镜底座固定。


规格概览
参数项目 规格指标
产品型号 XM07A-S1
轴类型 单轴手动 X 直线位移台
导向结构 精密交叉滚柱导轨
台面尺寸 70mm×70mm
单轴有效行程 ±6.5mm
调节机构 S1 标准单螺杆微调手轮
*小刻度分辨率 10μm / 格
额定水平负载 53.9N(5.5kgf)
主体材质 铝合金
表面处理 哑光透明阳极氧化
直线度 ≤2μm/13mm
整机自重 0.44kg
核心特点 轻量化、低摩擦无空回、标准通用款,支持多轴堆叠组合
  1. 标配附

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

半导体微电子行业
精密测量设备
高校科研实验室

配件

定制专用润滑

读数放大镜

防尘风琴罩

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