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KOHZU神津精机手动精密位移滑台
产品型号:YM05A-C3-CL
产品简介:

YM05A-C3-CL 是日本 KOHZU 神津精机50×50mm 一体式 XY 双轴手动定位台,搭载精密交叉滚子导轨,采用粗调丝杆 + 中心锁止微分头 CL 双调节结构,兼顾大范围快速移动与微米级精密锁止定位,适配光学、半导体探针、显微检测二维高精度对位场景。

详细介绍

KOHZU神津精机手动线性滑台   YM05A-C3-CL


YM05A-C3-CL 是日本 KOHZU 神津精机50×50mm 一体式 XY 双轴手动定位台,搭载精密交叉滚子导轨,采用粗调丝杆 + 中心锁止微分头 CL 双调节结构,兼顾大范围快速移动与微米级精密锁止定位,适配光学、半导体探针、显微检测二维高精度对位场景。


  1. 粗微一体双调节,操作高效
    粗调手轮快速移动载台至目标区域,微分头完成微米级微量修正,无需反复来回调节,大幅缩短二维对位工时。
  2. CL 中心锁止,杜绝点位漂移
    观测、检测过程中锁紧微分头,设备振动、人员触碰不会造成微小位移,长时间批量检测点位稳定。
  3. 交叉滚子高刚性导轨
    线接触支撑相比滚珠点接触,抗倾覆、承载均匀,光路光斑、芯片探针不会随运行时间偏移。
  4. 洁净室标准配置
    专用无挥发无尘润滑脂,半导体、光学实验室可直接上机使用,无粉尘污染晶圆、光学元件。
  5. 标准化通用安装孔位
    台面 M3 阵列孔适配光学镜架、真空吸附载片、探针夹具;底座 M2 小孔适配显微机架、小型自动化设备固定。


规格概览
参数项目 标准指标
台面尺寸 50mm × 50mm
导向结构 精密交叉滚子(十字滚柱)导轨
单轴移动行程 粗调 13mm + 微分微调 0.3mm
*小刻度读数 粗调:10μm / 格;微分微调:0.5μm / 格
直线度误差 ≤2.0μm/13mm
X/Y 轴正交度 ≤5μm/13mm
力矩刚性 0.31 arcsec/N·cm
水平允许负载 39.2N(4kgf)
重复定位精度 ≤±0.3μm
台面安装孔 9 处 M3 沉头安装螺纹
底座固定孔 4 处 M2 安装螺纹
整机材质 航空铝合金
表面处理 哑光硬质阳极氧化(无尘无粉尘脱落)
整机自重 约 0.32kg
  1. 标配附

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

半导体微电子行业
精密测量设备
高校科研实验室

配件

定制专用润滑

读数放大镜

防尘风琴罩

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