KOHZU神津精机手动线性滑台   YM05A-S3-CL 

YM05A-S3-CL 是神津微型洁净一体式 XY 手动滑台，50mm 台面，交叉滚子导轨搭配双侧粗微调微分头，单轴粗调行程 13mm、微调 0.3mm，微调分辨率 0.5μm，额定负载 4kg。一体结构正交精度优异，CL 低发尘润滑适配无尘车间，侧推紧凑结构节省安装空间，可快速大范围移动后高精度对位，多用于晶圆检测、光纤光路耦合、显微样品二维精密微调场景。

1. 一体成型粗微调双轴结构
   整机一体式底座，无需两台 XM05A-S3-CL 堆叠，双侧微分头侧向伸出，不占用设备上部空间，适配显微镜、光学腔体狭小安装空间。
2. 快慢双段定位，调试效率高
   先粗调快速移动 13mm 大范围寻靶，再 0.5μm 微分头完成微米级精准对位，兼顾移动速度与超高定位精度。
3. 交叉滚柱高平稳微动
   无间隙预紧导轨，长短行程运动顺滑，俯仰、偏摆误差极小，重复对位一致性稳定。
4. CL 洁净室专用配置
   整机低粉尘表面工艺 + 洁净润滑脂，油脂挥发物极低，适配半导体晶圆检测、光学无尘实验室。
5. 通用标准化安装孔
   台面、底面预留 M3 标准螺纹孔，可搭配旋转台、升降台快速搭建 XYZ 多维微调模组。

1. 规格概览
   

   参数项目	标准规格
   标准型号	YM05A-S3-CL
   镜像反向型号	YM05A-S3-RRR-CL
   工作台台面尺寸	50mm × 50mm
   导向机构	预紧式精密交叉滚柱导轨
   驱动定位器型号	FPP03-13 粗微一体定位器
   移动行程	粗调总行程 13mm，精密微调 0.3mm
   刻度分辨率	粗调 10μm / 格；微调 0.5μm / 格
   全行程直线度	≤2.0μm / 13mm
   XY 正交度	≤20μm / 全行程
   力矩刚度	0.61 arcsec/N·cm
   水平额定承载	39.2N（4kgf）
   整机自重	0.6kg（600g）
   主体材质	铝合金
   表面处理	白色硬质阳极氧化
   台面安装螺纹孔	中心 20×20mm、外圈 40×40mm M3 螺纹孔
   底部安装基准孔	40×40mm 通用固定孔位
   原厂参考售价	188,000 日元（税抜）
2. 标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书

适配场景

定制专用润滑

通用光学转接底板

等高调整垫块