YA16F-L23201 为 16F 系列钢制超长行程一体化 XY 重载平台，双轴配伸缩防尘护罩，集成区域原点与双向限位传感器，抑制长行程振动形变，出厂校准正交精度。支持洁净、真空润滑定制，可选光栅闭环提升精度，适配大尺寸晶圆、LCD 面板高速扫描、激光加工、同步辐射重载样品定位等精密设备。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 YA16F-L23201

YA16F-L23201 为 16F 系列钢制超长行程一体化 XY 重载平台，双轴配伸缩防尘护罩，集成区域原点与双向限位传感器，抑制长行程振动形变，出厂校准正交精度。支持洁净、真空润滑定制，可选光栅闭环提升精度，适配大尺寸晶圆、LCD 面板高速扫描、激光加工、同步辐射重载样品定位等精密设备。

1.一体成型高刚性结构
整机一体式底座，无需两台单轴堆叠，节省设备安装空间；双导轨支撑，长短行程搭配下俯仰、偏摆误差极小，正交精度稳定。 2.长短轴搭配大平面扫描能力
X 下轴 ±152mm 超长行程、Y 上轴 ±100mm 标准行程，兼顾大范围扫描与中等幅面定位，适配长条基板、晶圆连续检测场景。 3.全行程出厂精密校准
每台设备完成全程往复精度检测，直线度、重复定位、丝杠误差量化管控，可提供原厂精度检测报告。 4.洁净室适配设计
低粉尘表面工艺，可选伸缩防尘蛇腹罩、全封闭防尘外壳；加装线性光栅尺可升级闭环纳米级定位。 5.丰富选配拓展
断电自锁刹车电机、原厂多轴运动控制器、加长信号线缆、真空吸附台面、耐腐蚀表面定制。

规格概览

参数项目	技术指标
完整型号	YA16F-L23201
台面尺寸	160mm×160mm
运动行程	X 下轴：±152mm（304mm）；Y 上轴：±100mm（200mm）
丝杠导程	5.0mm C5 级研磨滚珠丝杠
导轨	重载多滑块精密线性直线导轨
标配电机	C087Q-9215P 五相步进电机，轴径 Φ8mm
分辨率	整步 10μm / 半步 5μm；1/20 微步 0.5μm
*高速度	50mm/s（AC100V 驱动）
重复定位精度	≤±0.5μm
背隙 / 空程	≤2μm / ≤5μm
丝杆累积误差	X≤20μm/304mm；Y≤20μm/200mm
直线度	X≤5μm/304mm；Y≤5μm/200mm
正交精度	≤10μm
上层额定承载	254N（26kgf）
整机自重	31.7kg
传感器	区域原点 + 前后双向硬件限位
机身材质	碳钢镀镍底座，铝合金阳极台面
防护	X/Y 独立伸缩防尘褶皱护罩

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

信号延长转接线

全封闭防尘护罩

KOSMOS 系列步进驱动器

光学仪器领域 半导体微电子行业 精密自动化产线

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线