YA16F-L23101 为钢制超长行程重载一体化 XY 精密平台，碳钢镀镍机身刚性突出，整机配备伸缩防尘护罩、区域原点与双向限位传感器，出厂校准正交精度，长行程运行无形变漂移。支持洁净、真空润滑定制，可选光栅闭环提升定位稳定性，适配大尺寸晶圆、面板高速扫描、重型光学模组对位、激光加工等工业检测与科研精密定位场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 YA16F-L22201

YA16F-L23101 为钢制超长行程重载一体化 XY 精密平台，碳钢镀镍机身刚性突出，整机配备伸缩防尘护罩、区域原点与双向限位传感器，出厂校准正交精度，长行程运行无形变漂移。支持洁净、真空润滑定制，可选光栅闭环提升定位稳定性，适配大尺寸晶圆、面板高速扫描、重型光学模组对位、激光加工等工业检测与科研精密定位场景。

碳钢机身超高刚性，304mm 超长行程不变形

整体碳钢底座刚性远超铝合金 16A 系列，304mm 超长 X 轴往复运动无底座弯曲、抑制长距离振动漂移，底层稳定承载 40kg 重型工装，支持 24h 不间断自动化产线连续运行。
长短非对称行程，适配宽幅矩形工件扫描

X 轴 304mm 超宽行程全覆盖大尺寸基板、整片晶圆，Y 轴 100mm 短行程负责精密对位，无需多段滑台拼接，简化设备机械结构，适合面板、光伏、半导体单向宽幅全域检测。
5.0mm 大导程高速传动，提升检测节拍

极限速度 50mm/s，大范围遍历效率大幅提升，同时支持 0.5μm 微步微量微调，兼顾高速扫描与亚微米级精密定位。
双轴全覆盖伸缩防尘护罩

X/Y 独立黑色褶皱护罩完整包裹丝杠、导轨运动区间，隔绝粉尘、水汽、切削碎屑侵入，降低保养频次，适配半洁净、无尘半导体产线工况。
区域式原点稳定回零 + 双重硬件限位

区域基准传感器识别稳定、不易丢原点；前后双向硬件限位，超程瞬间停机，保护丝杠、导轨、电机免受撞击损坏。

规格概览

参数项目	标准技术指标
完整型号	YA16F-L23101
台面尺寸	160mm × 160mm
运动行程	下轴 X：±152mm（总 304mm）；上轴 Y：±50mm（总 100mm）
导轨结构	全轴多滑块重载精密线性直线导轨
传动丝杠	C5 级研磨滚珠丝杠，导程 5.0mm
标配电机	C087Q-9215P 五相步进电机，0.72° 步距，轴径 Φ8mm
整步 / 半步分辨率	10μm / 5μm
1/20 微步*小分辨率	0.5μm
*高运行速度	50mm/s（AC100V 标准驱动器）
重复定位精度	≤±0.5μm（均值 ±0.09μm）
空程 Lost Motion	≤5μm
背隙 Backlash	≤2μm
丝杆累积误差	X 轴≤20μm/304mm；Y 轴≤15μm/100mm
水平直线度	X≤5μm/304mm；Y≤4μm/100mm
垂直直线度	X≤5μm/304mm；Y≤2μm/100mm
正交精度	≤10μm
力矩刚性	0.04 arcsec/N·cm
额定水平承载	下层 X 轴：392N (40kg)；上层 Y 轴：274N (28kg)
整机自重	29.7kg
内置传感器	区域式基准原点 HOME + F-104 双向极限 LIMIT
接线接头	广濑 20 针圆形 RP13A-12RA-20PC
防护结构	X/Y 独立一体式伸缩防尘褶皱护罩
机身材质	碳钢底座低温黑色电镀防锈，台面铝合金硬质阳极氧化

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

信号延长转接线

全封闭防尘护罩

KOSMOS 系列步进驱动器

光学仪器领域 半导体微电子行业 精密自动化产线

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线