全新KOHZU神津精机电动精密定位滑台 YA16F-L22201 池田屋实业（深圳）有限公司

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全新KOHZU神津精机电动精密定位滑台

产品型号：YA16F-L22201

产品简介：

YA16F-L22201 是 16F 钢制系列旗舰等长行程重载 XY 一体化平台，钢制机身抑制长行程振动、底层 40kg 重载、上层 26kg 负载，50mm/s 高速扫描，适配方形大尺寸基板、整片晶圆全域检测、大面积激光加工等高效率、高刚性精密设备场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 YA16F-L22201

YA16F-L22201 是 16F 钢制系列旗舰等长行程重载 XY 一体化平台，钢制机身抑制长行程振动、底层 40kg 重载、上层 26kg 负载，50mm/s 高速扫描，适配方形大尺寸基板、整片晶圆全域检测、大面积激光加工等高效率、高刚性精密设备场景。

全碳钢底座超高刚性，长行程抗振不变形

整体碳钢底座刚性远超铝合金 16A 系列，200mm 双向长距离往复运动无底座弯曲形变，有效抑制振动漂移；底层可稳定承载 40kg 重型工装，支持 24h 不间断自动化产线连续运行。
XY 双向 200mm 等行程全域覆盖

X、Y 双轴均具备 ±100mm 超长行程，方形扫描区域，适配 8/12 寸整片晶圆、方形 LCD / 玻璃基板全域遍历检测，无需分段拼接滑台，简化设备机械结构。
5.0mm 超大导程，50mm/s 极速扫描

高速丝杠设计，大幅缩短大面积样品遍历节拍，提升设备检测产能；同时支持 0.5μm 微步微量进给，兼顾高速移动与亚微米精密对位。
双轴全覆盖独立防尘护罩

X、Y 轴各配备一体式伸缩褶皱护罩，完整包裹丝杠、导轨运动区间，隔绝粉尘、水汽、切削碎屑侵入，降低保养频次，适配半洁净、无尘半导体产线。
原厂预装一体化结构，正交精度出厂校准

整机出厂完成 XY 堆叠、正交度校准，规避客户自行组装带来的装配间隙与精度偏差，开箱即可投入使用，一致性稳定。

规格概览

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

选配件

信号延长转接线

全封闭防尘护罩

KOSMOS 系列步进驱动器