1. 高刚性重载一体 XY 平台
   铸铁底座 + F 型重载导轨，额定承载 28kg，可搭载晶圆载具、大尺寸视觉镜头、精密探针模组。
2. 双轴等行程 ±50mm 通用规格
   XY 行程完全对称，视觉对位、激光加工、检测设备通用性*强，是 YA16F 系列基础主力型号。
3. 高速低间隙传动
   丝杆预紧消除背隙，全程累积误差控制在 15μm 以内，往复定位一致性优异，满足光学、半导体微米级检测需求。
4. 无尘环境友好
   黑色低温氧化无粉尘析出，可更换无尘专用润滑脂，搭配琴平 KDC 集尘机构成完整精密加工单元。
5. 免工具维护设计
   传感器、电机出线布局规整，滤网、润滑加注口外露，后期保养便捷。

1. 项目	标准参数
   型号	YA16F-L21101
   台面尺寸	160mm × 160mm 方形大安装台面
   XY 有效行程	上轴 ±50mm，下轴 ±50mm，双轴总行程各 100mm
   传动机构	滚珠丝杆，导程 5.0mm
   导轨类型	加宽重载精密直线导轨，抗偏载、高刚性
   驱动电机	五相步进电机
   运动分辨率	整步 10μm / 半步 5μm；1/20 微步分割 0.5μm
   *高运行速度	50mm/s（AC100V 标准驱动器）
   重复定位精度	≤±0.5μm
   丝杆累积误差	≤15μm/100mm（单轴全程）
   空程损耗	≤5μm
   丝杆背隙	≤2μm
   水平直线度	≤4μm/100mm（上下轴）
   垂直直线度	≤2μm/100mm（上下轴）
   XY 直交度	≤10μm/100mm
   扭转刚度	0.04 arcsec/N·cm
   水平额定负载	274.4N（28kgf）
   整机自重	23kg
   感应系统	标配全域光电传感器
   主体材质	底座铸铁高刚性，移动台面铝合金黑色硬质氧化
   洁净适配	支持无尘室专用润滑脂选配（-C 洁净款）
2. 标配附件

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线