1.铸铁一体高刚性

2. 长距离高精度稳定输出

3. 快慢速双模式运动适配自动化产线

4. 标准化通用安装接口

1. 项目	技术参数
   标准型号	XA20F-L2501
   台面尺寸	200mm × 218mm 方形大安装台面
   有效移动行程	±250mm，全程总行程 500mm
   传动结构	精密研磨滚珠丝杆，螺距 5.0mm 高速导程
   导轨系统	加宽重型直线导轨，抗偏载、长行程不变形
   驱动电机	五相步进电机（东方 C087Q 系列，轴径 Φ8mm）
   定位分辨率	整步 10μm / 半步 5μm；1/20 微步分割 0.5μm
   *高运行速度	50mm/s（AC100V 标准驱动器）
   重复定位精度	≤±0.5μm
   丝杆累积误差	≤40μm/500mm 全程
   空程损耗	≤10μm
   丝杆背隙	≤2μm（预紧消除间隙）
   水平直线度	≤8μm/500mm
   垂直直线度	≤8μm/500mm
   扭转刚度	0.003 arcsec/N·cm
   水平额定负载	980N（100kgf，同系列重载顶配）
   整机自重	44kg
   感应配件	标配 F-104 区域限位传感器、F-105 原点 HOME 光电基板
   机身材质	底座铸铁一体成型；移动台面铝合金低温黑色电镀
   洁净适配	低析出表面处理，可用于无尘车间、半导体产线
2. 标配附件

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线