进口KOHZU神津精机电动精密定位滑台 YA16A-R202 池田屋实业（深圳）有限公司

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进口KOHZU神津精机电动精密定位滑台

产品型号：YA16A-R202

产品简介：

YA16A-R202 为日本 KOHZU 神津精机原厂双层一体式 XY 双轴电动精密定位平台，YA 系列一体化成型底座结构，区别于两台单轴滑台拼接方案，正交精度、结构刚性、安装紧凑度优化。适配半导体、光学检测、激光加工等高精密自动化产线与实验室设备，是 160mm 台面规格中端高精度 XY 运动单元主力型号。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 YA16A-R202

YA16A-R202 为日本 KOHZU 神津精机原厂双层一体式 XY 双轴电动精密定位平台，YA 系列一体化成型底座结构，区别于两台单轴滑台拼接方案，正交精度、结构刚性、安装紧凑度优化。适配半导体、光学检测、激光加工等高精密自动化产线与实验室设备，是 160mm 台面规格中端高精度 XY 运动单元主力型号。

1.一体化双层成型结构，正交精度更高
一体铸造底座，上下轴装配基准统一，无需两台 XA 单轴拼接，规避分体组装带来的正交度偏差，大幅降低调试工时，整机占用安装空间更小。
2.交叉滚柱导轨
滚柱线接触导轨设计，相比钢珠导轨承载刚性更强、运行平顺性更好，长期往复扫描无卡顿，适合 24 小时连续自动化量产工况。
3.5 相步进驱动
0.72° 五相电机配合细分控制，*低 0.2μm 步进分辨率，定位抖动极小，适配显微成像、探针接触式检测等对微小位移敏感场景。
4.全行程多重传感
三轴位传感器集成一体，上电自动原点回归，超程自动停机锁止，有效保护丝杆、导轨与工件，适配无人自动化产线。
5.轻量化无尘适配机身
铝合金轻量化设计，表面硬质氧化不掉粉、耐腐蚀，满足 Class1000 无尘实验室、半导体封装车间使用标准。

规格概览

项目	参数
型号	YA16A-R202（反向镜像款：YA16A-R202-RRR）
台面尺寸	160mm × 124mm
运动行程	X/Y 轴 ±30mm（单轴总行程 60mm）
导轨结构	精密十字交叉滚柱导轨
传动机构	滚珠丝杆，导程 2.0mm
驱动电机	5 相步进电机（东方 C087Q 系列），电机轴 Φ8mm
分辨率	整步 4μm / 半步 2μm；1/20 微步分割 0.2μm
*高运行速度	20mm/s（AC100V 标准驱动器）
重复定位精度	≤±0.2μm
丝杆累积误差	≤6μm/60mm
空程损耗	≤2μm
背隙	≤0.5μm
水平直线度	≤1μm/60mm
垂直直线度	≤2μm/60mm
XY 直交度	≤5μm/60mm
扭转刚度	0.03 arcsec/N·cm
水平额定负载	254.8N（26kgf）
主体材质	铝合金，白色硬质氧化处理
整机自重	7.2kg
感应配件	标准搭载 F-101 光电基板（原点 HOME + 正负限位 LIMIT）

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

信号延长转接线

Φ8mm 电机轴 B 型手摇手柄

KOSMOS 系列步进驱动器

光学仪器领域 半导体微电子行业 精密自动化产线

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线