XA16A-R202是神津16A铝合金大台面系列高速重载型 X 轴精密电动滑台，兼顾 30kg 水平重载、大范围高速扫描与亚微米级重复定位；可直接搭配 Y 轴YA16A-R202堆叠组成重载高速 XY 定位平台，适配大尺寸晶圆批量检测、重型光学模组、激光平面加工、自动化高效视觉检测等追求节拍效率的精密设备场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 XA16A-R202

XA16A-R202是神津16A铝合金大台面系列高速重载型 X 轴精密电动滑台，兼顾 30kg 水平重载、大范围高速扫描与亚微米级重复定位；可直接搭配 Y 轴YA16A-R202堆叠组成重载高速 XY 定位平台，适配大尺寸晶圆批量检测、重型光学模组、激光平面加工、自动化高效视觉检测等追求节拍效率的精密设备场景。

超大承载加宽台面

160×124mm 大尺寸安装台面，额定 30kg 水平负载，可搭载整片大尺寸晶圆载具、多通道重型光学模组、大型检测工装，适配重型光学设备搭载需求。
大导程高速扫描

极限速度 20mm/s，相较 R101 细导程型号速度提升一倍，大幅缩短大面积样品扫描节拍，提升产线检测产能。
十字滚柱高刚性运动结构

全行程直线度优异，侧向偏移极小，长时间连续往复扫描精度衰减小，抗振动性能稳定，适合 24 小时不间断自动化产线使用。
出厂全检，超低传动误差

出厂严格管控空程、背隙、丝杆累积误差，往复定位一致性强，满足光学干涉、晶圆计量等高精密检测需求。
标准化通用堆叠接口

底部安装基准孔与 YA16A-R202 完全匹配，无需转接板直接组装重载高速 XY 双轴平台，装配便捷、正交精度稳定可控。

规格概览

参数项目	标准技术指标
完整型号	XA16A-R202
镜像反向型号	XA16A-R202-R
台面尺寸	160mm × 124mm
有效总行程	60mm（±30mm）
导轨结构	精密十字交叉滚柱导轨
传动丝杠	C5 级滚珠丝杠，导程 2.0mm
标配电机	五相步进电机 C087Q-9215P，步距角 0.72°，电机轴 Φ8mm
整步 / 半步分辨率	4μm / 2μm
1/20 微步*小分辨率	0.2μm
*高运行速度	20mm/s（AC100V 标准驱动器）
重复定位精度	≤±0.2μm（均值 ±0.03μm）
空程 Lost Motion	≤2μm（均值 0.63μm）
背隙 Backlash	≤0.5μm（均值 0.1μm）
丝杆累积误差	≤6μm/60mm（均值 1.21μm/60mm）
水平直线度	≤1μm/60mm（均值 0.27μm/60mm）
垂直直线度	≤2μm/60mm（均值 0.38μm/60mm）
力矩刚性	0.01 arcsec/N・cm（均值 0.005 arcsec/N・cm）
水平额定承载	294N（30kgf）
整机自重	3.6kg
内置传感器	F-105 原点开关 + F-104 前后双向限位
接线接头	广濑圆形 20 针 RP13A-12RA-20PC
机身材质	铝合金，白色哑光硬质阳极氧化

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

信号延长转接线

Φ8mm 电机轴 B 型手摇手柄

KOSMOS 系列步进驱动器

光学仪器领域 半导体微电子行业 精密自动化产线

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线