YA16A-R101为16A系列细导程超高微调重载 Y 轴滑台，细导程实现 0.1μm 微步微量进给，机身刚性强、承载能力优异，可与配套 X 轴XA16A-R101直接堆叠，组成大台面重载 XY 精密定位平台，适配大尺寸晶圆检测、重型光学模组、激光加工、光学面板检测等高负载高精度工业与科研场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 YA16A-R101

YA16A-R101 为 16A 系列细导程超高微调重载 Y 轴滑台，细导程实现 0.1μm 微步微量进给，机身刚性强、承载能力优异，可与配套 X 轴XA16A-R101直接堆叠，组成大台面重载 XY 精密定位平台，适配大尺寸晶圆检测、重型光学模组、激光加工、光学面板检测等高负载高精度工业与科研场景。

1.1.0mm 细导程纳米级微调
研磨丝杆*小 0.1μm 微步进给，光路、晶圆微量对位无漂移，适配干涉仪、光谱仪等高精密光路
2.十字滚柱高刚性导轨
全行程直线度优异，侧向偏移极小，长时间连续扫描精度衰减小，抗振动性能突出
3.60mm 大范围行程
±30mm 移动区间，单台即可覆盖大面积样品全域扫描，无需多段滑台拼接
4.标准化堆叠安装
底部安装孔位与 XA16A-R101 完全匹配，无需转接板直接组装重载 XY 双轴平台
5.三重硬件防护
原点自动回零 + 前后双向硬件限位，超程自动停机，避免丝杆、导轨撞击损坏

规格概览

参数项目	技术指标
完整型号	YA16A-R101
镜像反向型号	YA16A-R101-RRR
台面尺寸	160mm × 124mm
有效总行程	60mm（±30mm）
导轨结构	精密十字交叉滚柱导轨
传动丝杠	高精度研磨丝杠，导程 1.0mm
标配电机	五相步进电机 C087Q-9215P，步距角 0.72°，电机轴 Φ8mm
整步 / 半步分辨率	2μm / 1μm
1/20 微步*小分辨率	0.1μm
*高运行速度	10mm/s（AC100V 标准驱动器）
重复定位精度	≤±0.5μm
空程 Lost Motion	≤2μm
背隙 Backlash	≤1μm
丝杆累积误差	≤10μm/60mm
水平直线度	≤1μm/60mm
垂直直线度	≤2μm/60mm
正交精度	≤5μm/60mm
力矩刚性	0.03 arcsec/N·cm
水平额定承载	254.8N（26kgf）
整机自重	7.2kg
内置传感器	F-101（原点 HOME + 前后双向限位 LIMIT）
接线接头	广濑 20 针圆形 RP13A-12RA-20PC
机身材质	铝合金，白色哑光硬质阳极氧化

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

信号延长转接线

Φ8mm 电机轴 B 型手摇手柄

KOSMOS 系列步进驱动器

光学仪器领域 半导体微电子行业 精密自动化产线

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线