KOHZU神津精机电动线性滑台 XA16A-R101
XA16A-R101 属于神津 16A 系列重载大台面 X 轴滑台，兼顾大范围移动与亚微米定位；可配套 YA16A-R101 直接堆叠组成重载大行程 XY 精密平台，适配大面积晶圆检测、大型光学模组、激光加工、同步辐射光束线、自动化重载视觉检测等高负载精密场景。
1.160×124mm 超大台面 + 30kg 超高重载 行业同尺寸 A 系列*大承载 X 轴，宽大载物平台可直接放置整片 12 英寸晶圆、重型长焦镜头、大尺寸光学载具，适配大工件高负载精密对位场景。 2.1.0mm 小导程超高细分 *小进给 0.1μm，兼顾 60mm 大范围移动与亚微米级光路精密微调，一套滑台完成粗定位与精校准，简化整机机械结构、降低设备成本。 3.XY 标准化免转接堆叠设计 与 YA16A-R101 Y 轴外形、安装基准孔完全通用，无需定制转接板，上下直叠成型完整超大台面重载 XY 平台，大幅缩短整机装配、校准工时。 4.全维度出厂严苛精度检测 重复定位、直线度、累积导程误差、空程、背隙出厂逐项校准；加宽十字滚柱导轨抗偏载，长时间往复扫描无精度漂移，适配半导体、光学量产自动化设备。 5.常规 / 真空双衍生型号全覆盖 标准 XA16A-R101 适配普通洁净车间；MVXA16A-R101 真空款搭载真空电机、低出气线缆、真空润滑，可直接装入高真空腔体做大面积透射科研实验。
规格概览
电机本体
原厂洁净润滑脂
固定安装螺丝包
电气接线图
适配场景
信号延长转接线
Φ8mm 电机轴 B 型手摇手柄
KOSMOS 系列步进驱动器