KOHZU神津精机电动线性滑台 YA10A-L101
YA10A-L101属于10A系列L 型长行程 Y 轴精密电动滑台，可与同规格 XA10A-L101 直接堆叠组成100mm 行程大台面 XY 扫描平台，适合大面积晶圆扫描、光学基板检测、激光平面加工、同步辐射光路、大面积视觉检测等需要大范围连续运动的精密场景。
1.±50mm 超长行程，全域大范围扫描专用 总行程 100mm，远优于 R 系列 ±12.5mm 短行程机型，适配 8 英寸整片晶圆全幅检测、大面积生物切片连续扫描、长距离光路平移调整、自动化流水线大范围物料定位场景。 2.1.0mm 研磨丝杠，粗扫 + 精调一体化 *小进给 0.1μm，既能快速完成百毫米级大范围移动，又可实现亚微米级光路同轴微调，无需搭配两级位移台，简化整机机械结构、降低设备成本。 3.100mm 大台面 + 线性导轨稳定重载 宽大载物平台，额定承重 16kg，线性导轨长行程抗沉降、抗偏载性能优异，长时间连续扫描无精度漂移，适配重型光学支架、大尺寸晶圆载具。 4.XY 标准化免转接堆叠设计 与 XA10A-L101 X 轴外形、安装基准孔完全通用，无需定制转接板，上下直叠成型完整超长行程 XY 平台，大幅缩短整机装配、校准工时。 5.常规 / 真空双衍生型号全覆盖 标准 YA10A-L101 适配普通洁净车间；MVYA10A-L101 真空专用款搭载真空电机、低出气线缆、真空润滑，可直接装入高真空腔体完成大面积样品透射观测实验。
规格概览
电机本体
原厂洁净润滑脂
固定安装螺丝包
电气接线图
适配场景
信号延长转接线
Φ8mm 电机轴 B 型手摇手柄
KOSMOS 系列步进驱动器