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原装KOHZU神津精机精密电动线性滑台
产品型号:XA10A-L101
产品简介:

XA10A-L101 属于神津 A 系列长行程直线导轨型 X 轴电动位移台,专属配对同规格 Y 轴 YA10A-L101,二者台面、安装基准完全通用,适配大面积晶圆扫描、大尺寸光学样品检测、长光路微调、自动化流水线大范围定位场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台    XA10A-L101


XA10A-L101 属于神津 A 系列长行程直线导轨型 X 轴电动位移台,专属配对同规格 Y 轴 YA10A-L101,二者台面、安装基准完全通用,适配大面积晶圆扫描、大尺寸光学样品检测、长光路微调、自动化流水线大范围定位场景。

1.长行程专用直线导轨

线性导轨全程支撑,长距离运动无翘曲、侧向偏移小,全程直线度稳定
2.防尘褶皱护罩标配

整机自带伸缩防尘罩,阻挡粉尘、碎屑侵入丝杠导轨,适配产线洁净 / 半洁净工况
3.高速与微量微调兼顾

1mm 导程丝杠*高 10mm/s 扫描速度,0.1μm 微步微量进给,大范围扫描与亚微米对位一体
4.高承载通用堆叠结构

额定 20kg 水平负载,安装基准孔与 YA10A-L101 完全匹配,直叠搭建大行程 XY 平台
5.三重硬件防护

原点自动回零 + 双向硬件限位,超程自动停机,避免丝杆、导轨撞击损坏

规格概览

  1. 参数项目 技术指标
    完整型号 XA10A-L101
    镜像反向型号 XA10A-L101-R
    台面尺寸 100mm × 100mm
    有效总行程 100mm(±50mm)
    导轨结构 精密线性直线导轨
    传动丝杠 研磨滚珠丝杠,导程 1.0mm
    标配电机 五相步进电机 C087Q-9215P,0.72° 步距角
    整步 / 半步分辨率 2μm / 1μm
    1/20 微步*小分辨率 0.1μm
    *高运行速度 10mm/s(100VAC 驱动)
    重复定位精度 ≤±0.5μm(均值 ±0.08μm)
    空程 Lost Motion ≤2μm(均值 0.99μm)
    背隙 Backlash ≤2μm(均值 0.36μm)
    丝杆累积误差 ≤20μm/100mm(均值 4.31μm/100mm)
    水平直线度 ≤3μm/100mm(均值 0.79μm/100mm)
    垂直直线度 ≤2μm/100mm(均值 0.69μm/100mm)
    力矩刚性 0.05 arcsec/N·cm
    水平额定承载 196N(20kgf)
    整机自重 7.6kg
    内置传感器 F-105 原点开关 + F-104 前后双向限位
    接线接头 广濑 20 针圆形 RP13A 系列接头
    机身防护 伸缩式防尘褶皱护罩
    机身材质 铝合金白色硬质阳极氧化
  2. 标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

信号延长转接线

多轴堆叠定位销

KOSMOS 系列步进驱动器

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