日本KOHZU神津精机精密电动线性滑台 YA10A-R2H01 池田屋实业（深圳）有限公司

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日本KOHZU神津精机精密电动线性滑台

产品型号：YA10A-R2H01

产品简介：

YA10A-R2H01为10A 大台面系列H 级高精度 Y 轴滑台，核心设计为台面中心预留大尺寸贯通开孔，激光、同轴照明光源、样品载杆可垂直贯穿台面，适配透射式显微镜、晶圆透射检测、激光打孔、光纤同轴耦合等实心滑台无法实现的光路对穿工况；可与同规格 XA10A-R2H01 X 轴直接堆叠，组成大台面超高精密 XY 定位平台，适配干涉仪、晶圆高精度扫描、激光光刻、光学计量等精密设备。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 YA10A-R2H01

YA10A-R2H01为10A大台面系列H 级高精度 Y 轴滑台，核心设计为台面中心预留大尺寸贯通开孔，激光、同轴照明光源、样品载杆可垂直贯穿台面，适配透射式显微镜、晶圆透射检测、激光打孔、光纤同轴耦合等实心滑台无法实现的光路对穿工况；可与同规格 XA10A-R2H01 X 轴直接堆叠，组成大台面超高精密 XY 定位平台，适配干涉仪、晶圆高精度扫描、激光光刻、光学计量等精密设备。

1.中心贯通通孔，透射光路专用
台面预留贯通开孔，激光、同轴光源、样品杆垂直穿过滑台，省去垫高转接治具，大幅简化透射显微镜、激光打孔、晶圆透射检测设备机械结构。
2.100mm 大台面 + 18kg 重载轻量化机身
宽大载物平台，额定水平承重 18kg，可搭载 6 英寸整片晶圆、大尺寸透射镜头；整机仅 2kg，相比同尺寸实心 Y 轴 YA10A-R202 减重 1.1kg，减轻 XY 平台整体负载。
3.XY 标准化免转接堆叠
与 XA10A-R2H01 X 轴台面、安装孔、通孔尺寸完全一致，无需定制转接板，上下直叠即可成型完整通孔 XY 平台，大幅缩短整机装配、校准工时。
4.全维度出厂精度全检
重复定位、直线度、正交度、空程、背隙出厂逐项校准；十字滚柱导轨抗偏载，长时间往复扫描无精度漂移，适配半导体、光学量产自动化设备。
5.常规 / 真空双衍生型号全覆盖
标准 YA10A-R2H01 适用于普通洁净车间；MVYA10A-R2H01 真空款搭载真空电机、低出气线缆、真空润滑，可直接装入高真空腔体做透射科研实验。

规格概览

参数分类	规格详情
产品型号	YA10A-R2H01；镜像反向款：YA10A-R2H01-RRR
工作台面尺寸	100mm × 100mm（中心带贯通通孔）
有效移动行程	±12.5mm（总行程 25mm）
丝杠导程	1.0mm 精密研磨滚珠丝杠
步进分辨率	整步 2μm / 半步 1μm / 1/20 微步细分 0.1μm
标准*高运行速度	10mm/s（半步驱动，5kpps 脉冲）
重复定位精度	≤±0.3μm
丝杠累积导程误差	≤5μm/25mm
空程（Lost motion）	≤1μm
背隙	≤0.5μm
水平运动直线度	≤0.5μm/25mm
垂直运动直线度	≤1μm/25mm
力矩刚度	0.06 arcsec/N·cm
正交度	≤5μm/25mm
水平额定承载	176.4N（18kgf）
整机自重	2kg
连接器规格	广濑圆形 20 针 RP13A-12JG-20PC

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

信号延长转接线

多轴堆叠定位销

KOSMOS 系列步进驱动器

光学仪器领域 半导体微电子行业 精密自动化产线

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线