XA10A-R2H01属于KOHZU A系列高精度通孔电动 X 轴位移台，核心特色为台面中心预留贯通通孔，允许激光、同轴照明、样品载杆垂直贯穿台面，专门用于透射式光学检测、激光穿透加工、晶圆透射检测、光纤同轴耦合等普通实心滑台无法实现的光路贯通场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 XA10A-R2H01

XA10A-R2H01 属于KOHZU A系列高精度通孔电动 X 轴位移台，核心特色为台面中心预留贯通通孔，允许激光、同轴照明、样品载杆垂直贯穿台面，专门用于透射式光学检测、激光穿透加工、晶圆透射检测、光纤同轴耦合等普通实心滑台无法实现的光路贯通场景。

1.H 级出厂精密校准
全检直线度、往复定位、空程、背隙、正交度，精度指标优于标准 R202 机型，适配干涉、光刻、光学计量等高精密光路
2.高速与纳米微调兼顾
1mm 导程丝杠*高 5mm/s 扫描速度，0.05μm 微步微量进给，大面积样品扫描与亚微米对位一体
3.高刚性低漂移运动结构
加宽十字滚柱导轨，侧向偏移极小，长时间连续扫描精度稳定无漂移
4.大台面高负载能力
100mm 方形台面，额定 20kg 水平负载，可搭载大型光学模组、整片晶圆检测工装
5.通用标准化堆叠
安装基准孔与 YA10A-R2H01 完全匹配，无需转接板直接组装高精度 XY 双轴平台
6.双重硬件防护
原点自动回零 + 双向硬件限位，超程自动停机，避免丝杆、导轨撞击损坏

规格概览

参数项目	技术指标
完整型号	XA10A-R2H01
镜像反向型号	XA10A-R2H01-R
台面尺寸	100mm × 100mm
有效总行程	25mm（±12.5mm）
导轨结构	精密十字交叉滚柱导轨
传动丝杠	C5 级精密滚珠丝杠，导程 1.0mm
标配电机	五相步进电机 PK544PMB
整步 / 半步分辨率	1μm / 0.5μm
1/20 微步*小分辨率	0.05μm
*高运行速度	5mm/s
重复定位精度	≤±0.15μm
空程 Lost Motion	≤0.3μm
背隙 Backlash	≤0.1μm
丝杆累积误差	≤4μm/25mm
水平直线度	≤0.3μm/25mm
垂直直线度	≤0.4μm/25mm
水平额定承载	196N（20kgf）
整机自重	1.58kg
内置传感器	F-116 原点开关 + 前后双向限位
接线接头	广濑 20 针圆形 RP13A-12JG-20PC
机身材质	铝合金白色硬质阳极氧化

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

选配件

Φ5mm 电机轴手摇手柄

多轴堆叠定位销

KOSMOS 系列步进驱动器

光学仪器领域 半导体微电子行业 精密自动化产线

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线