捕捉变化,开拓未来
通过科学技术的发展和未来的人才培养为社会做贡献
13027923555
主营产品: 实验室仪器;测量仪器;环境检测仪器;计量器具;传感器の专门商社池田屋!
到货KOHZU神津精机精密电动线性滑台
产品型号:XA10F-R102
产品简介:

YA10A-R202 为神津精机A 系列标准导程重载 Y 向电动位移台,专属配套 X 轴 XA10A-R202,两者台面、安装基准匹配,直接堆叠即可组成100×100mm 大台面二维 XY 精密定位平台,适配 6 英寸晶圆检测、重型光学镜头微调、大面积样品扫描、半导体探针台等高负载通用精密场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台  XA10F-R102


XA10F-R102 属于神津F 系列高刚性加厚底座 X 向电动位移台,钢机体抗形变、抗振动、力矩刚性远优于铝合金 10A 系列;细导程设计实现纳米级微量进给,适配重载、高力矩、长时间连续精密定位场景,可与配对 YA10F-R102 直接堆叠组成高刚性钢制 XY 平台。

1.偏心重载专用
底座加宽加厚、导轨支撑跨距更大,相比 XA10A 抗偏载、抗扭转能力显著提升,可稳定承载重心偏移的重型镜头、晶圆载具,长时间扫描正交度、直线度无漂移。
2.纳米级微量微调

*小进给步距仅 0.025μm,适配光纤耦合、激光同轴对位、半导体芯片精密校准等需要极微小进给的场景,定位细腻度优于 1.0mm 导程 R202 机型。
3.XY 标准化免转接堆叠设计

与 YA10F-R102 Y 轴外形、安装基准孔完全通用,无需定制转接板,上下直叠成型完整重载高刚性 XY 平台,大幅缩短设备装配校准工时。
4.长期稳定性强

重复定位、直线度、累积导程误差、空程、背隙全项出厂检测;加宽十字滚柱支撑结构,适合自动化量产设备长期连续运行。

规格概览

  1. 参数分类 规格详情
    产品型号 XA10F-R102
    工作台面尺寸 100mm × 100mm
    有效移动行程 ±12.5mm(总行程 25mm)
    丝杠导程 0.5mm 精密研磨丝杠
    步进分辨率 整步 0.5μm / 半步 0.25μm / 1/20 微步细分 0.025μm
    标准*高运行速度 2.5mm/s(半步驱动,5kpps 脉冲)
    重复定位精度 ≤±0.3μm(实测均值 ±0.04μm)
    丝杠累积导程误差 ≤8μm/25mm(实测均值 1.15μm/25mm)
    空程(Lost motion) ≤1μm(实测均值 0.2μm)
    背隙 ≤0.5μm(实测均值 0.13μm)
    水平运动直线度 ≤0.5μm/25mm(实测均值 0.13μm/25mm)
    垂直运动直线度 ≤0.5μm/25mm(实测均值 0.12μm/25mm)
    力矩刚度 0.01 arcsec/N・cm(实测均值 0.004 arcsec/N・cm)
    水平额定承载 196N(20kgf)
    整机自重 2.75kg
  2. 标配附

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电气接线图

适配场景

光学仪器领域
半导体微电子行业
精密自动化产线

配件

Φ5mm 电机轴手摇手柄

多轴堆叠定位销

KOSMOS 系列步进驱动器

池田屋实业(深圳)有限公司
联系人:肖佳慧

联系电话:13027923555

微信:13027923555

传真:0755-22220216
Email: zy@ikedaya.cn
公司网址:http://www.ikedaya.cn/

扫码添加微信沟通
在线留言



Copyright@ 2003-2026  池田屋实业(深圳)有限公司  版权所有  
联系人:肖佳慧  联系电话:13027923555  微信:13027923555   传真:0755-22220216   Email:zy@ikedaya.cn  公司网址:http://www.ikedaya.cn/
         粤ICP备2023000448号