到货KOHZU神津精机精密电动线性滑台 YA07A-R2H01 池田屋实业（深圳）有限公司

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到货KOHZU神津精机精密电动线性滑台

产品型号：YA07A-R2H01

产品简介：

YA07A-R2H01为07A 系列H 级超高精密 Y 轴电动滑台，内置 F-116 原点 + 双向极限传感器，台面中心预留通孔，适配光路穿透式检测。可与同规格 XA07A-R2H01 X 轴直接堆叠组成高精度 XY 平台，面向干涉仪、半导体晶圆检测、激光微加工、光学精密测量等对直线度、重复定位要求严苛的场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 YA07A-R2H01

YA07A-R2H01为07A 系列H 级超高精密 Y 轴电动滑台，内置 F-116 原点 + 双向极限传感器，台面中心预留通孔，适配光路穿透式检测。可与同规格 XA07A-R2H01 X 轴直接堆叠组成高精度 XY 平台，面向干涉仪、半导体晶圆检测、激光微加工、光学精密测量等对直线度、重复定位要求严苛的场景。

中心通孔专属设计

台面预留贯通开孔，激光、照明光路、样品载杆可垂直穿过滑台，无需抬高治具，适配透射式显微镜、激光打孔、光纤同轴耦合、晶圆透射检测等普通实心台面无法实现的工况。
超高亚微米级定位精度，检测一致性稳定

重复定位精度≤±0.2μm，直线度、累积导程误差、空程、背隙全维度严苛管控，满足半导体探针、光学耦合、高精度尺寸测量等高精密对位需求。
XY 轴标准化配对

与 XA07A-R2H01 X 轴外形、安装孔位、通孔尺寸完全匹配，上下直接堆叠即可成型完整通孔式 XY 平台，省去定制转接工装，大幅缩短设备装配工时。
，抗偏载能力强

十字滚柱结构力矩刚度优异，搭载 9kg 水平额定负载后仍能保持稳定定位精度，可承载重型镜头、晶圆载具、光学调整支架。
一体化集成传感

原点、限位传感器出厂预装校准，搭配神津 KOSMOS 系列步进控制器即可快速搭建自动化定位系统，无需额外加装感应配件。

规格概览

参数分类	规格详情
工作台面尺寸	70mm × 70mm
有效移动行程	总行程 20mm（±10mm）
丝杠导程	1.0mm
步进分辨率	整步 2μm / 半步 1μm / 1/20 微步细分 0.1μm
标准运行速度	10mm/s（半步驱动，20kpps 脉冲）
重复定位精度	≤±0.2μm
丝杠全程累积导程误差	≤5μm/20mm
空程（Lost motion）	≤0.5μm
背隙	≤0.5μm
水平运动直线度	≤0.5μm/20mm
垂直运动直线度	≤1μm/20mm
力矩刚度	0.15 arcsec/N·cm
水平额定承载	88.2N（9kgf）
整机自重	1.7kg
衍生镜像型号	YA07A-R2H01-RRR（电机侧反向布局）

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电源线

适配场景

自动化精密尺寸检测
微型零件激光雕刻
光谱透射样品扫描台

选配件

工况润滑定制

多轴堆叠定位销

KOSMOS 系列步进驱动器

自动化精密尺寸检测 微型零件激光雕刻 光谱透射样品扫描台

自动化精密尺寸检测
微型零件激光雕刻
光谱透射样品扫描台