原装KOHZU神津精机精密电动线性滑台 XA07A-R2H01 池田屋实业（深圳）有限公司

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原装KOHZU神津精机精密电动线性滑台

产品型号：XA07A-R2H01

产品简介：

XA07A-R2H01 属于 07A 系列高精度 X 轴滑台，台面 70×70mm，总行程 20mm（±10mm），搭载十字交叉滚柱导轨 + 1.0mm 导程 C5 级精密滚珠丝杠，可与 YA07A-R2H01 直接堆叠搭建高精度 XY 平台，适用于半导体检测、光学干涉仪、激光精密加工、高精度测量设备等对运动直线性要求严苛的场景。

详细介绍

KOHZU神津精机电动线性滑台 XA07A-R2H01

XA07A-R2H01 属于 07A 系列高精度 X 轴滑台，台面 70×70mm，总行程 20mm（±10mm），搭载十字交叉滚柱导轨 + 1.0mm 导程 C5 级精密滚珠丝杠，可与 YA07A-R2H01 直接堆叠搭建高精度 XY 平台，适用于半导体检测、光学干涉仪、激光精密加工、高精度测量设备等对运动直线性要求严苛的场景。

主要特点

1.H 级超高精密等级
出厂全检直线度、往复定位、空程背隙，精度指标优于标准款，适合干涉、光刻等高精密光路
2.快慢兼顾传动设计
1mm 导程丝杠*高 5mm/s 移动速度，0.05μm 微步微调，大范围扫描与微量对位兼顾；
3.高刚性低漂移结构
十字滚柱导轨高刚性，往复运动无侧向偏移，长时连续运行精度稳定
4.标准堆叠通用接口
安装基准孔与 YA07A-R2H01 完全匹配，无需转接板直叠 XY 双轴平台
5.完整硬件防护
原点自动回零 + 双向硬件限位，超程自动停机，避免丝杆导轨撞击损伤

规格概览

参数项目	技术指标
完整型号	XA07A-R2H01
镜像反向型号	XA07A-R2H01-R
台面尺寸	70mm × 70mm
有效总行程	20mm（±10mm）
导轨结构	精密十字交叉滚柱导轨
传动丝杠	C5 级滚珠丝杠，导程 1.0mm
标配电机	五相步进电机 PK544PMB
整步 / 半步分辨率	1μm / 0.5μm
1/20 微步*小分辨率	0.05μm
*高运行速度	5mm/s
重复定位精度	≤±0.15μm
空程 Lost Motion	≤0.3μm
背隙 Backlash	≤0.1μm
丝杆累积误差	≤4μm/20mm
水平直线度	≤0.3μm/20mm
垂直直线度	≤0.4μm/20mm
水平额定承载	98N（10kgf）
整机自重	0.88kg
内置传感器	F-116 原点开关 + 前后双向限位
接线接头	广濑 20 针圆形 RP13A-12JG-20PC
机身材质	铝合金白色硬质阳极氧化

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电源线

适配场景

自动化精密尺寸检测
重型光学模组精密对位
半导体晶圆扫描检测

选配件

工况润滑定制

安装转接板

KOSMOS 系列步进驱动器

自动化精密尺寸检测 重型光学模组精密对位 半导体晶圆扫描检测

自动化精密尺寸检测
重型光学模组精密对位
半导体晶圆扫描检测