YA07F-R202 为神津 07F 系列全钢制高刚性Y 轴电动滑台，F 代表铁质高刚性机身，台面 70×70mm，总行程 20mm（±10mm），适合重载、高力矩工况；可与同规格 XA07F-R202 X 轴直接堆叠组成高刚性 XY 定位平台，适配半导体检测、激光加工、重型光学模组、高负载精密自动化设备。

详细介绍

KOHZU 神津精机电动线性滑台YA07F-R202

YA07F-R202 为神津 07F 系列全钢制高刚性Y 轴电动滑台，F 代表铁质高刚性机身，台面 70×70mm，总行程 20mm（±10mm），适合重载、高力矩工况；可与同规格 XA07F-R202 X 轴直接堆叠组成高刚性 XY 定位平台，适配半导体检测、激光加工、重型光学模组、高负载精密自动化设备。

主要特点

钢制高刚性机身：整体钢材 + 镀镍防锈，抗形变、抗振动，适合重载、长时间连续加工工况，长期运行精度衰减极小；
高速高精度兼顾：1.0mm 标准导程丝杠，*高 5mm/s 移动速度，0.05μm 微步微量进给，大范围移位与亚微米微调一体；
超低传动误差：十字交叉滚柱导轨直线度优异，空程、背隙严格管控，往复定位一致性稳定；
标准化堆叠接口：安装基准孔与 XA07F-R202 完全匹配，无需转接板直接组装高刚性 XY 双轴平台；
硬件三重防护：原点自动回零 + 双向硬件限位，超程自动停机，防止丝杆、导轨撞击损坏；
多工况原厂定制：支持 - C 洁净室低挥发润滑、-V 真空低出气润滑版本，适配无尘产线、真空腔体实验。

规格概览

参数项目	技术指标
完整型号	YA07F-R202
镜像反向型号	YA07F-R202-RRR
台面尺寸	70mm × 70mm
有效总行程	20mm（±10mm）
导轨类型	精密十字交叉滚柱导轨
传动丝杠	滚珠丝杠，导程 1.0mm
标配电机	五相步进电机 PK523HPMB
整步 / 半步分辨率	1μm / 0.5μm
1/20 微步*小分辨率	0.05μm
*高运行速度	5mm/s
重复定位精度	≤±0.2μm
空程 Lost Motion	≤0.5μm
背隙 Backlash	≤0.2μm
丝杆累积误差	≤5μm/20mm
水平直线度	≤0.5μm/20mm
垂直直线度	≤0.6μm/20mm
正交精度	≤5μm/20mm
刚性	0.15 arcsec/N·cm
水平额定承载	88.2N（9kgf）
整机自重	2.1kg
内置传感器	F-116 原点 + 前后双向限位；反向款配 F-116R
接线接头	广濑 20 针圆形 RP13A-12JG-20PC
机身材质	钢材，表面镀镍防锈处理

标配附件

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

电源线

适配场景

自动化精密尺寸检测
重型光学模组精密对位
半导体晶圆扫描检测

选配件

工况润滑定制

安装转接板

KOSMOS 系列步进驱动器

自动化精密尺寸检测 重型光学模组精密对位 半导体晶圆扫描检测

自动化精密尺寸检测
重型光学模组精密对位
半导体晶圆扫描检测