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日本KOHZU神津精机精密电动线性滑台
产品型号:XA07A-R103
产品简介:

XA07A-R103 属于神津 07A 系列高精度微型 X 轴电动滑台,细导程设计实现超高微量进给分辨率,重复定位稳定,可直接与 YA07A-R103 Y 轴堆叠组成标准 XY 精密平台,适配光纤耦合、光学微调、半导体芯片检测、光谱校准、实验室高精度样品载台等亚微米级对位场景。

详细介绍

KOHZU 神津精机电动线性滑台 XA07A-R103


一、产品概述

XA07A-R103 属于神津 07A 系列高精度微型 X 轴电动滑台,细导程设计实现超高微量进给分辨率,重复定位稳定,可直接与 YA07A-R103 Y 轴堆叠组成标准 XY 精密平台,适配光纤耦合、光学微调、半导体芯片检测、光谱校准、实验室高精度样品载台等亚微米级对位场景。


二、主要特点

1.超高微量微调能力

0.5mm 细导程研磨丝杆,*小 0.025μm 微步进给,光路、光纤微小对位无漂移
2.高刚性低误差传动

十字交叉滚柱导轨直线度优异,空程、背隙严格管控,往复定位一致性
3.大台面高承载

70mm 标准方形台面,额定 10kg 水平负载,可搭载较大光学模组、检测工装
4.标准化堆叠接口

安装基准孔与 YA07A-R103 完全匹配,无需转接板直接组装 XY 双轴平台
5.三重硬件防护

原点自动回零 + 双向硬件限位,超程自动停机,防止丝杆、导轨撞击损坏
6.多工况原厂定制

支持 - C 洁净室低挥发润滑、-V 真空低出气润滑版本,适配无尘产线、真空腔体实验

三、规格概览


  1. 参数项目 技术指标
    完整型号 XA07A-R103
    镜像反向型号 XA07A-R103-R
    台面尺寸 70mm × 70mm
    有效总行程 20mm(±10mm)
    导轨类型 精密十字交叉滚柱导轨
    传动丝杆 精密研磨丝杆,导程 0.5mm
    标配电机 五相步进电机 PK544PMB
    整步 / 半步分辨率 0.5μm / 0.25μm
    1/20 微步*小分辨率 0.025μm
    *高运行速度 2.5mm/s
    重复定位精度 ≤±0.3μm(均值 ±0.05μm)
    空程 Lost Motion ≤1μm(均值 0.4μm)
    背隙 Backlash ≤1μm(均值 0.27μm)
    丝杆累积误差 ≤10μm/20mm
    水平直线度 ≤0.5μm/20mm
    垂直直线度 ≤0.6μm/20mm
    水平额定承载 98N(10kgf)
    整机自重 0.85kg
    内置传感器 F-116 原点开关 + 前后双向限位
    接线接头 广濑 20 针圆形 RP13A-12JG-20PC
    机身材质 铝合金白色哑光硬质阳极氧化
  2.  


四、标配附

电机本体

原厂洁净润滑脂

固定安装螺丝包

使用说明书


、适配应用行业场景

光学仪器领域 半导体微电子

精密自动化产线 实验室科研设备

配件

工况润滑定制

一体屏蔽线缆

同系列配对Y轴滑台

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